Gebraucht KLA / TENCOR M-Gage 300 #9158625 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist ein integriertes Wafer-Prüf- und Messsystem, das hochgenaue Messergebnisse für kleinste Geometrien bis zum 3X-Nanometer-Knoten und darüber hinaus liefert. KLA M-Gage 300 kombiniert fortschrittliche prozessfähige Metrologie-Tools, wie eine APS (Auto Patterning Structural) CD, OPC (Optical Proximity Correction) CD und Defect Inspection (DFI) Fähigkeiten. Es bietet eine optische Auflösung von bis zu 10 nm, wodurch die Herausforderungen bei der Messung gegenüber herkömmlichen Messtechnik-Werkzeugen, die für größere Geometrien verwendet werden, gemindert werden. TENCOR M-Gage 300 ist mit einer fortschrittlichen Probenstufentechnologie aufgebaut, die absolute Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Messungen mit hohem Durchsatz ermöglicht. Die Probenahmestufe schafft ein nahtloses Prozessfenster zwischen Messtechnik und Waferproduktion, das einen maximalen Durchsatz ermöglicht und dabei nicht auf Genauigkeit verzichtet. Das Ergebnis sind geringere Zykluszeiten, höhere Ausbeuten und verbesserte Ausbeute. M-Gage 300 integriert prozessfähige Messtechnik-Tools zur Verfolgung und Messung mehrerer Schichten und kritischer On-Wafer-Funktionen wie Musterung, Lötstöße und Säulen und Stifte. Es hat auch Full-Layer-Defekt-Inspektionsfunktionen, bietet eine umfassende Überprüfung für jede Schicht mit einer Vielzahl von Inspektionsalgorithmen. Mit der OPC-CD kann PROMETRIX M-Gage 300 zusätzliche Vorkommen potenzieller ertragsmindernder Probleme erfassen und analysieren. Weitere Merkmale von KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 sind erweiterte Edge-ckt-Funktionen, die sehr kleine Funktionen schnell und präzise messen. Es unterstützt auch mehrere Messstellen mit Gleichmäßigkeitsfunktionen und Radialscannen für erhöhten Durchsatz und Genauigkeit. Das System unterstützt Maskenbereichsmessungen und ist auf mehreren Silizium-Wafergrößen genau, wiederholbar und wiederholbar. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung mit einfachen Tutorials, Skripten und Berichten. Die vollständige Rückverfolgbarkeit ist mit Protokolldateien und On-Board-Tracking-Funktionen aktiviert. Schließlich ist KLA M-Gage 300 modular und erweiterbar konzipiert, so dass seine Fähigkeiten mit zukünftigen Fortschritten während seines mehrjährigen Lebenszyklus erweitert und verbessert werden können.