Gebraucht KLA / TENCOR OP3290 #9142578 zu verkaufen

KLA/TENCOR OP3290 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Inspektion von Schaltungsstrukturen auf Halbleiterscheiben auf Ausbeute und Prozess-, Produkt- und Geräteleistung verwendet wird. Es wird häufig in der Mikroelektronik und Photonik-Industrie verwendet, um die Geschwindigkeit der Herstellung zu verbessern und die Qualität der fertigen Produkte zu verbessern. Die KLA- OP3290 bietet zuverlässige, wiederholbare Messungen wie kritische Abmessungen (CD), Oxidation, Dotierung, Ätztiefe und Fehlerzählung. TENCOR OP 3290 ist ein automatisiertes Wafer-Testsystem bestehend aus einem hochauflösenden optischen Mikroskop, einer hochauflösenden CCD-Kamera und einem Hochgeschwindigkeitsspektrometer. Das optische Mikroskop ermöglicht es dem Anwender, die Schaltungsstrukturen auf dem Wafer zu untersuchen. Die CCD-Kamera bietet ein leistungsfähiges Werkzeug zur Aufnahme hochauflösender Bilder der Schaltungsstruktur und zur Erzeugung einer detaillierten Analyse und Quantifizierung kritischer Abmessungen (CD) und anderer Merkmale der Schaltung. Das Spektrometer dient zur Messung der Zusammensetzung und Konzentration verschiedener Materialien in der Schaltungsstruktur. TENCOR OP3290 ist in der Lage, die Dicke, Ebenheit der Oberfläche, CD, Dotierstoffkonzentration, Oxidationsstufen, Ätztiefe und andere Aspekte der Waferstruktur zu messen, zu analysieren und zu bewerten. Es verfügt über eine Vielzahl von automatisierten Wafer-Test- und Messtechnik-Tools, einschließlich LaserMetrology, Auto-Tracking und Stage Scan. Mit dem LaserMetrology-Modul wird die Dicke der Sondenfolien auf dem Wafer, die Ebenheit der Oberflächenmerkmale und die Dicke der Schaltungsschichten gemessen. Das Auto-Tracking-Modul ermöglicht eine schnelle und genaue Messung kritischer Abmessungen (CDs) und seitlicher Offsets. Das Stage Scan Modul ermöglicht eine automatisierte Abbildung der gesamten Waferoberfläche. KLA OP 3290 ist eine fortschrittliche Einheit mit einer anpassbaren Benutzeroberfläche und einer Vielzahl von Software-Tools zur Anzeige von Daten, zur Durchführung von Berechnungen und zur Erstellung von Berichten. Es enthält auch eine Bibliothek mit Fehlerklassifizierungen und Parametern, die für die Fehleranalyse und Charakterisierung verwendet werden. Die Maschine wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Halbleitermaterialien zu arbeiten, darunter Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und Silizium-on-Isolator (SOI). KLA/TENCOR OP 3290 Werkzeug ist ein wesentliches Werkzeug bei der Herstellung von Produkten höchster Qualität. Seine hochauflösende Optik, automatisierte Wafer-Testwerkzeuge und leistungsstarke Fehleranalyse-Software machen es zu einer unschätzbaren Ergänzung des modernen Halbleiterherstellungsprozesses.