Gebraucht KLA / TENCOR P-6 #293592892 zu verkaufen
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KLA / TENCOR P-6 ist eine Oblatenprüfung der nächsten Generation und für High-End-Halbleiterfertigungsanwendungen entworfene Metrologiesysteme. Das Gerät kombiniert die neuesten Technologien für Wafer-Tests und -Messungen und liefert sowohl hochpräzise als auch hochauflösende Ergebnisse mit kurzen Zykluszeiten. Das System ist in der Lage, viele verschiedene Halbleitermaterialien und -geräte zu sondieren, zu testen, zu messen und zu analysieren, darunter Flash, NOR und NAND-Speicher, logische und hochfrequente integrierte Schaltungen (RFICs). Es verfügt über mehrere Hardwarekomponenten, darunter ein konfigurationsgesteuertes, CCD-basiertes, hochauflösendes optisches 2D-Mikroskop und eine automatisierte XY-Bühne. Das Mikroskop umfasst einen Colibri 3200 F2 CCD-Detektor und hochwertige Ziele, die eine ergonomische und benutzerfreundliche Umgebung bieten, um eine Vielzahl von Materialien und Geräten schnell zu überprüfen und zu analysieren. Das Gerät kommt auch mit einer Bibliothek von automatisierten Bilderkennungsalgorithmen, die helfen können, verschiedene Fehler zu identifizieren. Für die Wafer-Prüfung ist die Maschine mit einem hochmodernen parametrischen Prüfwerkzeug und vollem Zehn-poligen Schütz ausgestattet. Die Testanlage kann Messungen mit hoher Bandbreite in Millisekunden durchführen. Musterprogrammierende Hochleistungswerkzeuge und integrierter automatischer Fokus, das Planieren und die Produktklassifikationswerkzeuge sorgen für eine robotertechnikkontrollierte Oblatenprüfung. Das Modell beinhaltet auch ein integriertes dickbelastetes Folienstreifenwerkzeug zur Tiefenanalyse der Foliendicke in interessierenden Bereichen. Dies ermöglicht in Echtzeit In-Line-Dickenmessungen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. KLA P-6-Geräte werden auch mit einem Revolver geliefert, der bis zu 5 Module und eine Kalibriervorrichtung aufnehmen kann, um genaue und wiederholbare Testergebnisse zu gewährleisten. Ein optoelektronisches Kabelsteuerungssystem ermöglicht das automatische Umschalten zwischen verschiedenen Litho-, CMP- und Schützkonfigurationen, wodurch die Zykluszeit reduziert wird. TENCOR P6 bietet eines der fortschrittlichsten Wafertest- und Messtechniksysteme der Branche. Sein flexibles Design, hohe Genauigkeit und verbundene Prüfung und Metrologiefähigkeiten machen es die ideale Wahl für High-End-Halbleiter Produktionsanwendungen.
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