Gebraucht KLA / TENCOR P-7 #293665117 zu verkaufen
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ID: 293665117
Weinlese: 2022
Film thickness measurement systems
Auto theta stage
3D+2D/3D Stress analysis
2022 vintage.
KLA/TENCOR P-7 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es liefert hochgenaue Analysen von Wafern, um die Prozesskontrolle und Ausbeute zu optimieren. KLA P-7 kombiniert hochauflösende Bildgebung mit leistungsstarken messtechnischen Fähigkeiten für Wafermessungen und Fehlerinspektionen. Das System verfügt über einen modularen Aufbau, der eine flexible Konfiguration ermöglicht, so dass Benutzer die Einheit konstruieren können, die ihren Spezifikationen und Anforderungen am besten entspricht. Seine Motoren und Regler bieten eine höhere Genauigkeit in der Bewegungssteuerung für eine verbesserte Wiederholbarkeit der Messungen. Die Software ermöglicht auch automatisierte Wafer-Level-Tests, um frühe Prozessprobleme zu erkennen. TENCOR P 7 bietet auch verbesserte Bildgebungsfunktionen, einschließlich einer Vielzahl von CCD-Detektoren wie sCMOS und TDI, sowie eine Reihe von Beleuchtungsoptionen, einschließlich Dunkelfeld, Hellfeld, Differential Interference Contrast (DIC) und Nomarski. Diese Optionen können kombiniert werden, um eine höhere Genauigkeit bei der Detektion subtiler optischer Phänomene zu gewährleisten. Um Muster auf dem Wafer genau zu messen, verfügt P-7 auch über Hochleistungs-Messtechnik mit hoher Auflösung, die kritische Merkmale bis zu 5nm messen kann. Dies ermöglicht genaue Messungen von Musterabständen, kritischen Abmessungen und anderen Merkmalen, die die Geräteleistung und Zuverlässigkeit gewährleisten. P 7 bietet auch eine Kombination aus spezialisierten Sensoren, Umfängen, Spektroskopie und spezialisierten Messtechnik-Modulen, um die umfassendsten Werkzeuge für die Wafermessung und Fehlerinspektion bereitzustellen. Diese Kombination von Technologien bietet Anwendern eine Komplettlösung für genaue Wafertests und -analysen. Insgesamt bietet KLA P 7 eine leistungsstarke und vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine zur Optimierung von Prozesssteuerung, Ausbeute und Leistung von Halbleiterbauelementen. Die Kombination aus Bildgebung, Messtechnik und spezialisierten Sensoren und Bereichen bietet Anwendern ein einfach zu konfigurierendes Werkzeug, das Wafer genau messen und inspizieren kann.
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