Gebraucht KLA / TENCOR P1 #293643497 zu verkaufen

KLA/TENCOR P1 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation. Es kombiniert technische Präzision und Messgenauigkeit mit intuitiven grafischen Benutzeroberflächen und automatisierten Prozessen, um den Anforderungen der heutigen Serienproduktion gerecht zu werden. Das KLA P-1-System ist in der Lage, bis zu 12 Zoll große Wafer zu verarbeiten und unterstützt sowohl Einzelwafer- als auch Batch-Modus-Betrieb. Die Einheit TENCOR P 1 verwendet maximal drei Sätze von Metrologiekopfmodulen mit jeweils eigenen integrierten Hardwarekomponenten, um eine einzige Prozesszelle zu bilden. Jedes Modul enthält erweiterte Optik und Präzisionsbewegungssteuerungssysteme, um höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Maschine ist zudem mit einem laserbasierten Autofokus ausgestattet, der eine einfache, präzise Einrichtung und schnelle Ausrichtung der Messebene auf die Waferebene ermöglicht. Der Wafer-Prüf- und Messtechnik-Prozess beginnt mit dem Laden eines Wafers in ein bestimmtes Rezept. Parameter wie Belichtungspegel, Zielfokus, Messebene und Messpunkte werden vom Bediener ausgewählt. Die Optik misst und überprüft die Wafer auf Dicke, geometrische Form, Defekte, Overlay, Fokus und Topographie. Die Ergebnisse dieses Prozesses werden mit einer Genauigkeit von weniger als einem Mikron an den Anwender zurückgegeben. Um präzise Messungen zu gewährleisten, verwendet KLA/TENCOR P 1 Werkzeug KLA proprietäre True Angle Technologie. Diese Technologie reduziert Messfehler und verbessert die Konsistenz der Ergebnisse, indem sichergestellt wird, dass die Messebene immer senkrecht zur Waferebene steht. Das Asset verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, um den Bediener zu führen und Routinefunktionen zu vereinfachen. P 1 bietet auch eine Reihe von umfassenden Steuerungs- und Datenerfassungsfunktionen. Die integrierte Machine Intelligence (MI) -Plattform überwacht die Wafer-Tests mit integrierten Monitor- und Steuerungsfunktionen. Die MI-Plattform hilft auch Betreibern, Probleme in jeder Phase des Prozesses in Echtzeit zu beheben. Insgesamt ist TENCOR P1 ein leistungsstarkes, intuitives und effizientes Wafer-Test- und Metrologiemodell. Das Gerät liefert genaue und konsistente Messungen, die schnell an den Anwender übertragen werden. Die Kombination aus Systemen, Technologien und Funktionen macht es zur idealen Wahl für kostensensible und serienreiche Anlagen.