Gebraucht KLA / TENCOR P10 #293806945 zu verkaufen

KLA/TENCOR P10 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Prozesssteuerung, Fehleranalyse und Integration von Front-End-Prozessen. Das System verwendet eine proprietäre optische Technik, genannt Contouring Beam Delivery, um eine Waferoberfläche genau und schnell auf das Nanometerniveau abzubilden. Es kann Partikel, Defekte und Linienbreiten präzise erkennen. Die bildgebende Technologie des Geräts beginnt mit einer 20x Mikroskop-Objektivlinse und verwendet eine motorisierte Bühne, um die Waferoberfläche zu scannen, während sich ein Gradient von Laserstrahlen bewegt, um die Konturen der Probe anzupassen. Dadurch wird sichergestellt, dass eine enge Darstellung der realen Oberfläche im Gegensatz zu typischen optischen Systemen, die auf ebene Oberflächen beschränkt sind, beobachtet wird. Die Contouring Beam Delivery verbessert auch Signal- zu Rauschverhältnisse für bessere Genauigkeit und verbesserten Durchsatz. Die Maschine kann jedoch mehr Daten sammeln, als für die Prozesssteuerung erforderlich sind. Dies ermöglicht flexible Auswertefunktionen und erweiterte Fehleranalysen, wenn dies gewünscht ist. KLA P-10 bietet eine hohe Auflösung, die die meisten optischen Systeme übertrifft und eine 0,1-nm-Schichtdicke-Abbildung bei 1x Feldtiefe und 0,02-nm-Bildgebung bei 1x Feldtiefe bietet. Es verfügt auch über eine der besten Bildgebungsgeschwindigkeiten auf dem Markt, die in der Lage ist, bis zu 800x400 mm des synchronisierten Sichtfelds in weniger als 18 Sekunden zu scannen. Neben der Optik umfasst TENCOR P 10 mehrere ausgefeilte optische Analysen, Prozesssteuerungsanalysen, Wafer-Level-Statistiken und Fehleranalysemodule, mit denen Anwender von Werkzeugen Wafer schnell und genau auswerten können. Die Multi-Beam-Technologie des Asset bietet Fingerspitzenzugriff auf die Fehler jedes Wafers in 2D- und 3D-Darstellungen und ist damit eines der zuverlässigsten und leistungsstärksten Systeme auf dem Markt. Eine Reihe weiterer Technologien sind ebenfalls in KLA P 10 integriert, einschließlich automatisierter berührungsloser Dimensionsmessung, automatisierter Topographiemessung und automatisierter/analytischer Tiefenloch- und Fiducial-Detektion. Diese Eigenschaften, kombiniert mit seinen außergewöhnlichen bildgebenden Fähigkeiten, machen TENCOR P-10 zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Wafertests und messtechnischen Anwendungen.