Gebraucht KLA / TENCOR P10 #293813796 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P10 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine vollständig integrierte, automatisierte Lösung für Wafer Inspektion und Messung, die Kunden die Möglichkeit bietet, Fehler zu erkennen und zu charakterisieren, Geräteparameter abzubilden und Waferdaten zu analysieren. Dieses System kombiniert fortschrittliche Bildgebungstechniken, Scannen der elektrochemischen Mikroskopie (SCEM) und Widerstandstests mit einer umfassenden Palette automatisierter Prozesse, die eine präzise Fehlererkennung, Analyse und Berichterstattung ermöglichen. Herzstück der UCK P-10 ist die Multi-Beam Velocity Scattering (MVSC) Bildgebungstechnologie. Dieses Gerät verwendet einen Laser, um die Waferoberfläche mit hoher Geschwindigkeit zu scannen und eine hochauflösende Karte von Merkmalen, Defekten und Signatureigenschaften zu erzeugen. Die MVSC-Maschine erkennt auch den Materialtyp und führt Widerstandstests durch, um die Probenzusammensetzung zu identifizieren. TENCOR P 10 ist auch mit einem Mikrospektrometer ausgestattet, das die Möglichkeit bietet, energiebezogene Daten quantitativ zu messen und zu charakterisieren. Das Mikrospektrometer hilft bei der Inspektion und Abbildung extrem kleiner Defekte sowie bei der Charakterisierung von Materialien mit geringem Reflexionsvermögen. Neben der Bildgebung verfügt KLA/TENCOR P 10 über ein SCEM-Werkzeug (Scanning Electrochemical Microscopy). Diese Anlage nutzt einen Mikrometer-elektrischen Strom, um die chemische Struktur des Wafers zu sondieren. Durch die Kombination der rasterelektrochemischen Mikroskopie mit MVSC-Bildgebung ist TENCOR P10 in der Lage, elektrische Ätzmarken, Photoresistreste und andere Defekte zu identifizieren und zu charakterisieren, die mit herkömmlichen Abbildungssystemen typischerweise nicht erkannt werden. Die KLA P10 bietet auch eine Reihe automatisierter Prozesse, einschließlich Fehlerabbildung, Ertragsanalyse und Reporting. Diese automatisierten Prozesse ermöglichen eine schnelle und präzise Inspektion und Messung von Wafern, was vor allem für eine Branche wichtig ist, in der Zeit Geld ist. KLA/TENCOR P-10 Wafer Testing and Metrology Model ist eine revolutionäre automatisierte Lösung für Wafertests und Messtechnik. Die Kombination aus fortschrittlichen Technologien und automatisierten Prozessen ermöglicht die Erkennung und Charakterisierung auch kleinster Defekte - was zu kostengünstigeren Defekten und einem höheren Ertrag führt.
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