Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9211916 zu verkaufen

KLA/TENCOR P10 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. KLA P-10 System ist eine vollautomatische Hochgeschwindigkeitseinheit, die alle Oberflächen- und Defekteigenschaften von Wafern inspizieren und messen soll. Die primäre Anwendung einer TENCOR P 10 Maschine ist für die Herstellung von Wafern, wo sie verwendet wird, um Prozessänderungen während des Herstellungsprozesses von Wafern zu analysieren und zu überprüfen. KLA/TENCOR P-10 Werkzeug kann eine Vielzahl von Defekten auf Waferoberflächen erkennen, einschließlich Ganzstempeldefekte, feine Partikel, Oberflächenkratzer und Korngrenzen. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR P 10 mit einem zweiachsigen Mikrospiegel-Array ausgestattet, das kritische Messungen an der Waferoberfläche mit hoher Präzision und Genauigkeit durchführen kann. KLA P 10 Vermögenswert wird mit der letzten Verbundenelektrodendruck-Sensortechnologie gebaut. Die Drucksensortechnologie mit gekoppelter Elektrode bietet Ultra-Low-Force-Profilierungsfunktionen und ermöglicht es dem Modell KLA P10, die Topographie der Waferoberfläche mit einer Genauigkeit von weniger als 5 nm zu messen. Das Gerät ist auch mit einem integrierten Erkennungssystem ausgestattet, das 200nm/Pixel-Auflösung verwendet, um Fehler auf der Waferoberfläche zu erkennen und zu klassifizieren. Diese Detektionseinheit verwendet Nachbearbeitungstechniken wie die statistische Prozesssteuerung (SPC), um Fehler für die Analyse weiter zu klassifizieren und zu isolieren. TENCOR P-10 Maschine ist auch in der Lage, eine Reihe von zerstörungsfreien Prüfungen (NDT) auf der Waferoberfläche durchzuführen. Diese zerstörungsfreien Tests umfassen Dünnschichtdicke, Flächenwiderstand, Naßätzen, Ionenstrahlgemisch, Dampfphasenreaktion, Ellipsometrie und andere Oberflächeneigenschaftstests. Darüber hinaus kann das Werkzeug zur Durchführung von Spannungs-/Dehnungsmessungen wie Oberflächenentbettung und Echtzeit-Wärmebildgebung verwendet werden. P10 Asset kann auch mit einer Reihe von optionalen Funktionen ausgestattet werden, einschließlich automatisierter Fehlerüberprüfungssysteme, Prozesswandern, Wiederholgenauigkeit von Die-to-Die und automatisierte Fehlerklassifizierung. Das Modell ist auch mit einer Reihe von Roboter-Be-/Entladesystemen sowie robotischen Vision-Systemen kompatibel. P 10 Ausrüstung ist auch in der Lage, in andere Fabrik Automatisierungssysteme zu integrieren. TENCOR P10 Wafer-Prüf- und Messtechnik-System ist eine effiziente und vielseitige Einheit, die ideal für Wafer-Fertigungen geeignet ist. Die fortschrittliche Drucksensortechnologie mit gekoppelter Elektrode und die zerstörungsfreien Prüffähigkeiten der Maschine machen sie zur perfekten Wahl für die Prozessentwicklung und die Produktionsüberwachung. Das integrierte Erkennungswerkzeug und automatisierte Fehlerüberprüfungssysteme machen P-10 Asset zu einem Muss für jede Halbleiterherstellungsanlage.