Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9215072 zu verkaufen

KLA/TENCOR P10 Wafer Prüf- und Messtechnik Ausrüstung ist entworfen, um die höchsten Ebenen der Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit während eines Herstellungsprozesses zu bieten. Dieses System ist für die Waferinspektion und Messtechnik in einer automatisierten Umgebung konzipiert. KLA P-10 ist eine vollautomatische Einheit, die jeden Wafer in einem bestimmten Prozess testen kann. Es umfasst eine leistungsstarke optische Maschine, eine Präzisionssoftware-Suite und ein vollautomatisches Manipulationswerkzeug, mit dem ganze Wafer-Funktionen und -Fehler schnell und genau gemessen werden können. Dieses Asset bietet höchste Auflösung und Wiederholbarkeit und geringste Variabilität bei der Messung von Wafer-Level-Gleichmäßigkeit, Dicke und Linienbreite. Das optische Hochleistungsmodell wurde entwickelt, um die Effizienz der Geräte durch höhere Signal- zu Rauschverhältnisse, höhere Geschwindigkeit und Genauigkeit und verbesserte Bildintegrität zu maximieren. Die Optik ist für eine Vielzahl von Wafer- und Planarlayouts optimiert, darunter Wafer mit hohem Seitenverhältnis mit Linien bis zu 10 nm. Die Präzisionssoftware bietet flexible und anspruchsvolle Wafer-Testwerkzeuge für Engineering, Messtechnik und Prozessentwicklung. Es beinhaltet CAD-basierte Waferspezifikationen, verschiedene Algorithmen für die Auswertung der Bildqualität und die Korrelation von Metrologie und Prozessergebnissen. Die Software-Suite kann auch eine zweite Bildkarte des gleichen Bereichs zur Korrelation mit zusätzlichen Charakterisierungs- und Prozessschritten erstellen. TENCOR P 10 wird durch ein vollautomatisiertes Manipulationssystem gesteuert, das eine schnelle, genaue und wiederholbare Platzierung von Wafern auf der Bühne ermöglicht. Es umfasst zuverlässige Bewegungssteuerung, eine geschlossene Probenübertragungseinheit und unabhängige Probenmanipulationsmöglichkeiten. Die Maschine ist für eine breite Palette von Anwendungen und Umgebungen konzipiert, von der Bank-Top-Fertigung bis zur kompletten Fertigung. Insgesamt ist das P 10 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool so konzipiert, dass es höchste Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Präzision in einer Wafer-Prüf- und Messtechnik-Umgebung bietet. Die fortschrittliche optische Ausstattung, die anspruchsvolle Software-Suite und die Automatisierungsfunktionen kombinieren ein Modell, das eine Vielzahl von Waferparametern und -fehlern schnell und genau messen kann.