Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9233591 zu verkaufen

KLA / TENCOR P10
ID: 9233591
Profiler.
KLA/TENCOR P10 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Messung und Fehlerinspektion von Wafern mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Mit der dreidimensionalen Bildgebungstechnologie bietet KLA P-10 eine präzise Oberflächen- und Tiefenanalyse von Dünnschichtstrukturen, einschließlich Messungen für Höhe, Widerstand, Zusammensetzung, Mikrodefekte und mehr. Das System verwendet patentierte formbasierte Fehlererkennungsalgorithmen, um kleinere Unregelmäßigkeiten auch bei anspruchsvollen Musterprozessen zu erkennen. TENCOR P 10 verfügt über ein kompaktes Design mit minimalem Platzbedarf und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300mm aufnehmen. Es ist in der Lage, bis zu 300 Wafer pro Stunde zu messen, was es zu einer idealen Einheit für die Herstellung von Wafern mit hohem Durchsatz macht. KLA P10 kommt auch mit einer Vielzahl von erweiterten Analysefunktionen, einschließlich dreidimensionale Datenanzeige, 3D-Overlay-Analyse und Overlay-Fehlerkarten. Mit diesen Daten lassen sich schnell hochvergrößerte Ergebnisse wie Linienbreite gelieren, Lithographieprozesse charakterisieren und überwachen. P 10 bietet auch eine Vielzahl von Funktionen, die auf die Verbesserung der Genauigkeit der messtechnischen Ergebnisse ausgerichtet sind. Die Maschine verwendet die automatische Fokusanpassung, um sicherzustellen, dass die Datenerfassungspunkte konsistent und genau bleiben. Darüber hinaus ermöglicht die OptiChart-Software die Mustersegmentierung und automatisierte Abbildung von Fehlern, wobei bei Bedarf auch eine manuelle Neuinspektion zur Verfügung steht. TENCOR P-10 verfügt zudem über ein zerstörungsfreies Messinstrument für kritische Dimensionen, das präzise Messungen von Widerstand, Zusammensetzung und mehr ermöglicht. Das Asset verfügt auch über Drift-Kompensationssoftware, um den Auswirkungen von thermischen Effekten und Topologie entgegenzuwirken. KLA/TENCOR P-10 ist ein vielseitiges Modell, das eine Vielzahl von Benchmarking und Analysefunktionen bietet. Seine außergewöhnliche Low-Cost-of-Ownership und seine Vielzahl an Fähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterherstellung und Materialanalyse. P10 ist eine ideale Wahl für Präzisionsmesstechnik und Fehlerinspektion in der heutigen Wafer-Fertigungsumgebung.
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