Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9301895 zu verkaufen

ID: 9301895
Surface profiler.
KLA/TENCOR P10 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um präzise quantitative Messungen der elektrischen, mechanischen und optischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben bereitzustellen. Dieses System nutzt mehrere Technologien wie Deep UV, Ion Beammetrologie, Röntgen- und Rasterelektronenmikroskopie, um genaue und zuverlässige Wafer-Testergebnisse zu liefern. KLA P-10 ist mit einer fortschrittlichen Bildverarbeitungseinheit ausgestattet, die es ermöglicht, zerstörungsfreie Dateibilder präzise und schnell durchzuführen. Der Kern von TENCOR P 10 ist seine fortschrittliche Bildverarbeitungsmaschine, die sehr detaillierte Bilder von jeder Waferoberfläche aufnehmen kann. Es nutzt drei Technologien, um dies zu erreichen: Deep UV, Ion Beam und Röntgen. Es verwendet eine spezialisierte Linse für jede dieser Technologien, um die Auflösung der Bilder zu erhöhen und ihre Genauigkeit zu verbessern. Das bildgebende Werkzeug ist zudem mit einer hochauflösenden Kamera ausgestattet, die detaillierte Messungen ermöglicht. P-10 verfügt auch über einen automatisierten Wafer-Testprozess. Dies geschieht unter Verwendung der Rasterelektronenmikroskopie (SEM) -Technologie. In SEM wird ein Elektronenstrahl verwendet, um die Oberfläche des Wafers abzutasten und ein Bild der Merkmale auf seiner Oberfläche zu erzeugen. Anhand dieses Bildes können dann die Materialeigenschaften des Wafers, wie dessen elektrischer Widerstand, Ladungsleckageeigenschaften, Oberflächenrauhigkeit oder radiographische Dicke, analysiert werden. KLA P10 ist auch in der Lage, eine Reihe von messtechnischen Messungen durchzuführen. Dazu gehören kritische Schichtdickenmessungen, Dotierungstiefenmessungen und Profilmessungen. Dies ermöglicht es dem Asset, detaillierte Messgrößen für eine Vielzahl von Anwendungen wie Ertrags- und Zuverlässigkeitsanalyse, Fehlererkennung und -analyse sowie Prozesskontrolle bereitzustellen. Die KLA/TENCOR P-10 umfasst neben ihren bildgebenden Fähigkeiten auch erweiterte Softwarefunktionen, die die Überwachung der Wafer in der Produktion ermöglichen, eine statistische Prozesskontrolle ermöglichen und Feedback zur Verbesserung des Herstellungsprozesses liefern. Insgesamt ist P10 ein automatisiertes Wafer-Test- und Messtechnik-Modell mit einer hochentwickelten bildgebenden Ausrüstung und einem automatisierten Wafer-Testprozess. Seine Fähigkeiten ermöglichen es ihm, eine breite Palette von hochgenauen und zuverlässigen Tests und Messungen von Halbleiterscheiben durchzuführen, so dass es wertvolle Daten für eine Vielzahl von Anwendungen zur Verfügung stellen kann.
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