Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9379237 zu verkaufen

ID: 9379237
Surface profiler.
KLA/TENCOR P10 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die hohen Durchsatz, konfigurierbare Architektur und fortschrittliche Anwendungen für die Halbleiterherstellung bietet. Es bietet eine umfassende Palette von Anwendungen wie Fehlerüberprüfung, optische CD-Messung, Overlay-Ausrichtung und Maskenebenheitsmessung. Mit fortschrittlicher Scan- und Messtechnik bietet KLA P-10 schnelle und genaue Wafermessungen. Es verfügt über ein eigenes Scansystem, das Scans mit einer Beschleunigungsgeschwindigkeit von bis zu 1000 Nanometern pro Sekunde bei einer Amplitudenauflösung von 5 Nanometern ermöglicht. TENCOR P 10 bietet maximale Flexibilität mit Software, die auf individuelle Kundenanforderungen und Prozessbewertungskriterien zugeschnitten werden kann. Die bildgebenden Fähigkeiten des Geräts ermöglichen eine detaillierte Fehlercharakterisierung, Mustermessungen und Analyse sowie die Messung der Temperaturen durch die Wafer. Es verfügt außerdem über ein weites Sichtfeld und eine hochauflösende 3D-Tomographie, die eine detaillierte Charakterisierung von Defekten ermöglicht. Neben den Scan- und Messtechnik-Systemen verfügt die P 10-Maschine über eine Bibliothek mit vorprogrammierten Anwendungen, die verschiedene Prozessvariationen wie Partikelabscheidung, Widerstandsänderungen, Gasakkumulation und Merkmalsvariation überwachen und identifizieren können. Die anspruchsvollen, benutzerfreundlichen Anwendungen und die leistungsstarke Ergebnisanalyse erhöhen Ertrag und Zuverlässigkeit für Kunden. Ein wesentliches Merkmal der KLA P 10 ist das integrierte Umweltkontrollwerkzeug, das die Umwelt des Vermögenswertes regelmäßig überwacht. Dies hilft Ausreißern und falschen Messungen aufgrund von Temperatur- und Feuchtigkeitsschwankungen vorzubeugen. KLA/TENCOR P 10 beinhaltet auch ein umfassendes Angebot an Software und Algorithmen zur Qualitätssicherung. Es bietet eine Vielzahl von Tools wie statistische Analysemethoden, Fehlererkennungsansätze, Software zur Erkennung von Prozessvariationen und Software zur Verbesserung der Messgenauigkeit. P-10 Modell eignet sich sowohl für F&E als auch für Serienanwendungen. Es wird von der KLA-proprietären WSA-Software (Wafer Section Analyzer) angetrieben, die schnelle, genaue und wiederholbare Wafermessungen ermöglicht. Mit ihrem erweiterten Leistungsspektrum bietet die Ausrüstung höchste Zuverlässigkeit und Qualitätskontrolle für Kunden.
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