Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9410631 zu verkaufen

KLA/TENCOR P10 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein Hochleistungs-Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Tool zur Reduzierung von Fertigungsfehlern und Ertragsverlusten. Das System nutzt automatisierte optische Inspektions- und Messtechnologien, um Merkmale auf Halbleiterscheiben zu identifizieren, zu klassifizieren und zu messen. Das Gerät besteht aus einem fortschrittlichen, doppelseitigen Inspektions- und Messwerkzeug, das in der Lage ist, Mikrohohlräume, TSV und Bond Pads und andere Funktionen auf dem Substrat schnell zu scannen und zu analysieren. KLA P-10 Maschine verwendet eine breite Palette von bildgebenden Systemen und Technologien, einschließlich Streuung, Hellfeld und Dunkelfeld-Bildgebung, um Produktfehler schnell und genau zu identifizieren und zu lokalisieren, wie fehlende Flecken, Linienfehler und Pinholes, bevor sie das Endprodukt erreichen können. Alle Bilder werden in einem S3-based Bildarchivierungswerkzeug für einfaches Abrufen und Überprüfen gespeichert. TENCOR P 10 enthält auch einen automatischen Klassifizierungsalgorithmus mit der Fähigkeit, Formen, Textperimeter und Defekte zu erkennen. Dieser Algorithmus ermöglicht es einem Benutzer, Funktionen anhand von Größe, Form und Standort schnell zu kategorisieren. Beispielsweise können Linienbreiten, Kontaktlücken und Pinholes identifiziert werden. Das Asset kann auch in andere UCK-Systeme integriert werden, um die Identifizierung und Meldung von Produktfehlern zu beschleunigen. TENCOR P10 Modell ist auch mit einer Reihe von messtechnischen Fähigkeiten ausgestattet, einschließlich Filmdickenmessung und Wiederholbarkeit, Linienbreitendetektion und Geometriemessungen. Die Schichtdickenmessung erfolgt mit einem automatisierten Mehrwinkelellipsometer und Analysator. Mit dieser Ausrüstung lassen sich Präzisionsmessungen von Dünn- und Dickschichtmaterialien schnell und präzise erfassen. Linienbreiten- und kritische Dimensionsmessungen werden mit einem automatisierten System von Laserabtastinterferometern erfasst. Diese Einheit ist in der Lage, Linienbreiten und andere Maßattribute auf einer Vielzahl von Waferoberflächen zu messen. Für Geometriemessungen ist TENCOR P-10 Maschine mit einem laserbasierten Werkzeug ausgestattet, das die Kanten und Profile von Wafern messen kann. KLA P10 Wafer Testing and Metrology Asset ist zudem mit einem umfassenden Datenverwaltungsmodell ausgestattet, mit dem Benutzer schnell auf Daten zugreifen und diese analysieren können. Das Gerät ist auch kompatibel mit verschiedenen Fertigungswerkzeugen sowie anderen Testgeräten, so dass es auf die Bedürfnisse verschiedener Kunden zugeschnitten werden kann. Insgesamt ist das KLA/TENCOR P-10 System ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, das helfen kann, Fehler zu reduzieren und die Erträge im Halbleiterherstellungsprozess zu verbessern. Das Gerät bietet eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, Fehler auf Halbleiterscheiben mit verbesserter Effizienz schnell und präzise zu erkennen, zu klassifizieren und zu messen.