Gebraucht KLA / TENCOR P10 #9410939 zu verkaufen
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ID: 9410939
Wafergröße: 8"
Profilometer / Surface profiler, 8"
M2 XR Rolling stand
Vertical features ranging: 100 A to approximately 300µm
Vertical resolution: 0.5, 2, or 10A
Micro-roughness: 0.5Å (0.002 min.)
Semiconductor wafers
Thin-film heads
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces.
KLA/TENCOR P10 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das speziell für Hersteller von integrierten Großschaltungen (LSIC), Optoelektronik und MEMS entwickelt wurde. KLA- P-10 wird mit robusten, branchenüblichen Komponenten gebaut und verwendet eine Multi-Sonden-Konfiguration, um jeden Wafer an mehreren Punkten zu testen. Es bietet umfassende messtechnische Fähigkeiten, die bildgebende und elektrische Messungen kombinieren. Darüber hinaus bietet es eine Vielzahl von Messfähigkeiten, wie die Abbildung von Transistorbauelementen und anderen Oberflächenmerkmalen, die Abbildung bei mehreren Vergrößerungen, die aktive optische Streuung (AOS), Flussmessungen und die elektrische I-V-Prüfung. Die Multi-Sonden-Konfiguration von TENCOR P 10 ist häufig vorteilhaft bei Prüfprodukten, die Komponenten in verschiedenen Bereichen des Wafers aufweisen. Mit Sondenpunkten an jeder Waferseite sowie entlang des Umfangs ermöglicht es die Prüfung an mehreren Stellen. TENCOR P-10 bietet Anwendern auch eine Auswahl an Sonden in Abhängigkeit von ihrer spezifischen Anwendung, mit Inter- und Edge-Probing-Optionen. Die Zweipositionsfähigkeit minimiert die Wirkung der Kante der Sonden auf die Messungen. Die Abbildungsfunktionen von KLA P 10 umfassen eine Vielzahl von Funktionen wie Gate Delay-Schaltungen, Kontakte, Funktionen, Isolationsbreite, Restblockaden und Lecks, Delamination, Farbkontrast, Oberflächenruckigkeit, Topographie und Querschnittsbildgebung. Die optische Wafer Inspect Funktion bietet Anwendern auch eine genaue Abbildung von Waferform, Ebenheit, Verzug und Linienbreite. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR P-10 in der Lage, aktive optische Streuung (AOS), so dass Benutzer schnell genaue Messungen ohne manuelle Definition von Ebenen zu erhalten. KLA/TENCOR P 10 bietet auch eine Vielzahl von elektrischen Testmöglichkeiten, wie Transistor Charakterization (I-V), Transistor Modeling, DC Impedanz Tests und Zuverlässigkeitstests. So können Anwender Transistoren schnell analysieren und ihre Zuverlässigkeit und Leistung testen. Darüber hinaus ist die KLA P10 mit einem rauscharmen Verstärker/High-Speed-System zur Prüfung von Nanoskala-Geräten ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass Impulse genau erfasst werden, was zu genaueren Messungen führt. Abschließend ist P10 ein vielseitiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das viele Funktionen für Hersteller von integrierten Großschaltungen (LSIC) bietet. Es verfügt über kundenzentrierte Funktionen wie Multi-Sonden-Konfiguration, bildgebende und elektrische Messungen, Flussmessungen und aktive optische Streuung (AOS), die eine bessere Qualitätskontrolle und Echtzeit-Prozess-Feedback ermöglichen.
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