Gebraucht KLA / TENCOR P11 #130279 zu verkaufen
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ID: 130279
Weinlese: 2001
Long scan profiler
Microhead sr low force measurement head
Force range: 1 to 50 mg
Top and side view optics
Vertical range: 300µm
Motorized X/Y stage
Sample size: 10 x 10" to 14 x 14" with side panel removed
Scan length: 205mm
Scan speed: 1µm/s to 25mm/s
Operating system: Windows
Pentium PC
Stylus
Video camera
2001 vintage.
KLA/TENCOR P11 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Identifizierung und Charakterisierung von Defekten in Halbleiterscheiben. Das System soll ein umfassendes Verständnis des Zustands der im Test befindlichen Wafer ermöglichen und Einblicke in mögliche Fehlerursachen und mögliche Korrekturmaßnahmen geben. Das Gerät nutzt eine Reihe von Hardwarekomponenten, darunter optische Wafer-Inspektionssysteme, Wafer-Belastungs-Messsysteme, Test- und Fehleranalysesysteme sowie Fehlerzählsysteme. Diese Komponenten arbeiten zusammen, um Defekte auf dem Wafer zu identifizieren und zu messen, einschließlich Partikelanomalien, Oberflächenrauheitsanomalien, elektrische Feldanomalien, mechanische Spannungsanomalien und chemische Rückstände. KLA P-11 Maschine enthält eine Reihe von proprietären Software-Tools, die eine schnelle Analyse von Fehlerdaten ermöglichen. Diese Tools umfassen Fehlerklassifizierung, metrische Interpretation, Anomalieerkennung und Machine-Vision-Algorithmen. Diese Daten können analysiert werden, um Ursachen von Fehlern zu erkennen, wodurch Benutzer Änderungen an ihren Prozessen vornehmen können, um sie in Zukunft zu vermeiden. Neben der automatisierten Fehleranalyse bietet das Tool TENCOR P 11 messtechnische Dienstleistungen an, die die Analyse elektrischer und geometrischer Eigenschaften von Wafern ermöglichen. Damit lassen sich Prozessungleichförmigkeiten erkennen, die dann von Verfahrenstechnikern korrigiert werden können. TENCOR P11 Asset bietet auch umfassende Prozessverfolgungsfunktionen. Auf diese Weise können Anwender ihre Prozesse im Laufe der Zeit überwachen, Konsistenz gewährleisten und Bereiche vorhersagen, in denen sich potenzielle Verbesserungen ergeben Diese Tools bieten auch Daten-Korrelationen im Laufe der Zeit und über Wafer hinweg, so dass Benutzer ganze Prozessabläufe verstehen können. Zusammenfassend ist TENCOR P-11 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, das ein umfassendes Verständnis des Status von Halbleiterwafern bietet. Es verwendet leistungsstarke proprietäre Software-Tools, um Fehler zu erkennen und zu interpretieren, elektrische und geometrische Eigenschaften zu messen und die Prozessleistung zu verfolgen. So können Anwender die Prozessleistung und den Ertrag maximieren.
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