Gebraucht KLA / TENCOR P11 #293809525 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P11 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die sowohl Test- als auch Messtechnik-Fähigkeiten zu einer einzigen, integrierten Plattform kombiniert. Dieses System ist für Wafer-Level-Screening und Reverse Engineering-Anwendungen konzipiert. Die KLA- P-11-Einheit arbeitet mit der Bilderkennungs- und Mustererkennungstechnologie, um fehlerhafte Merkmale auf einem Wafer oder Substrat zu erkennen. Es kann auch die elektrischen und physikalischen Eigenschaften von Wafer-Geräten messen und Informationen über den Ort der Matrize, Fehler und eine Reihe anderer Parameter liefern. TENCOR P 11 verwendet eine Vielzahl von Messtechniken, einschließlich Bildgebung, 2D-Messungen, Messungen kritischer Abmessungen (CD), elektrischer Tests (elektrischer Test und erneuter Test), kritischer Flächenanalyse und fortschrittlicher Fehleranalyse. Es bietet auch erweiterte 3D-Mapping- und Profilerstellungsfunktionen sowie erweiterte Fehlererkennungstechniken. Die spektroskopische Abbildungstechnologie KLA/TENCOR P 11 kann verwendet werden, um verschiedene Arten von Defekten und topologischen Merkmalen zu erkennen und zu unterscheiden. Es unterstützt auch eine Vielzahl von zerstörungsfreien elektrischen Prüfverfahren, wie CVU, IVu und OD-Messung. TENCOR P-11 Maschine ist mit einem fortschrittlichen fiducial Ausrichtungswerkzeug für die Autolokation, Vereinfachung der Bedienung der Anlage und Maximierung der Ausrichtgenauigkeit ausgestattet. KLA/TENCOR P-11 ist auch in der Lage, bis zu 500 Wafer pro Stunde mit 4 deckelseitigen Waferträgern zu handhaben. Erweiterte Bildanalysen auf P11 ermöglichen eine schnelle Fehlererkennung, einschließlich mikroskopischer Defekte, großer offener Stellen, Kratzer und anderer topografischer Defekte. Darüber hinaus umfasst das Modell umfassende Mustererkennungsalgorithmen zum Vergleich der untersuchten Strukturen mit bekannten Mustern, die in seiner Bibliothek gespeichert sind. P-11 bietet auch eine Reihe von Tools zur Analyse statistischer Daten, wie mittlere und Standardabweichung, maximale, minimale und Histogrammanalyse. Mit Echtzeit-Reporting und benutzerdefinierten Reporting-Modulen bietet es eine tiefgreifende Analyse von Trends und Statistiken. Schließlich ist TENCOR P11 für eine präzise Fehlerlokalisierung ausgelegt und kann Defekte mit einer Genauigkeit von 1 um auf einer Fläche von 100 um x 100 um lokalisieren. Es bietet auch eine breite Palette von Automatisierungsoptionen, mit seinen Roboterhandhabungssystemen, Multi-Die-Pickup-System, automatisierten Testlösungen und seinen automatisierten messtechnischen Lösungen.
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