Gebraucht KLA / TENCOR P11 #9269308 zu verkaufen

KLA / TENCOR P11
ID: 9269308
Step measurement system.
KLA/TENCOR P11 ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die Halbleiterprüf- und Messtechnik revolutioniert. KLA P-11 verwendet eine Hochleistungs-3D-Laser-Scan-Technologie, um ein genaues, hochauflösendes Bild eines einzelnen Wafers zu erhalten. Dieses detaillierte Bild in Kombination mit einem automatisierten optischen Inspektionssystem ermöglicht es TENCOR P 11, eine Vielzahl von Merkmalen auf Wafern schnell und präzise zu messen, einschließlich Funktionsabmessungen, Overlay-Messungen, kritischen Dimensionen und Ertragsanalysen. KLA P11 besteht aus einer Basisplattform und mehreren Modulen für zusätzliche Funktionalität. Die Basisplattform umfasst eine vertikale mehrachsige Stufe, einen schnellen Abtastkopf, ein hochauflösendes konfokales Abbildungsmodul und mehrere weitere Komponenten für genaue Bildgebung und Messtechnik. Die mehrachsige Stufe ermöglicht eine präzise Positionierung des Wafers und das konfokale Abbildungsmodul ermöglicht eine detaillierte 3D-Abbildung jedes Wafers. KLA/TENCOR P-11 verwendet vier zusätzliche Module, um zusätzliche Messfunktionen bereitzustellen. Dazu gehören ein Overlay-Messmodul, ein CD-Modul (Die-to-Die Critical Dimension), ein Prozesssignatur- und Profilmessmodul und ein Wafer-Pegel-Ausbeute-Messmodul. Das Overlay-Modul ermöglicht den Vergleich eines Chips mit einem anderen, während das Die-to-Die-CD-Modul den Abstand zwischen zwei verschiedenen Merkmalen auf einer Matrize messen kann. Das Prozesssignaturmodul misst das elektrische Profil des Wafers, während das Waferebene-Ausbeute-Modul die Ausbeute des Wafers prüft. P11 kann auch zur automatisierten Optimierung von Testprogrammen verwendet werden und liefert einen Single-Point von Daten für die Verwaltung von Tests, Messtechnik und Datenanalysen. Diese Softwarefunktion ermöglicht es Benutzern, die Leistung ihrer Testvorgänge zu verfolgen, die Ergebnisse zu analysieren und zu vergleichen und die Prozesse für die besten Ergebnisse zu optimieren. Insgesamt ist KLA P 11 eine fortschrittliche Test- und Messtechnik-Einheit, die eine erweiterte, detaillierte Ansicht eines Wafers bietet. Seine 3D-Laser-Scan-Technologie kann schnell und genau eine Vielzahl von Funktionen auf Wafern messen, und seine automatisierte optische Inspektionsmaschine liefert Daten für die Optimierung von Testprogrammen. All diese Merkmale machen P-11 zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Halbleiterhersteller.
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