Gebraucht KLA / TENCOR P11 #9314006 zu verkaufen

KLA/TENCOR P11 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die schnelle und genaue geometrische Wafermessungen für Prozesssteuerung, Forschung und Entwicklung liefert. Das System ermöglicht automatisierte Formsortierung und eine breite Palette von geometrischen Wafer-Messungen einschließlich kritischer Dimensionen (CD) wie Linienbreite und Linienkantenrauhigkeit, Flächenmessungen wie Musterebenheit und Scaninterferometrie. Es verfügt über ein innovatives, Hochgeschwindigkeits-optisches Modul, ein einzigartiges Objektivdesign sowie eine fortschrittliche Beleuchtungseinheit, die es ermöglicht, Präzisionsmessungen der komplexesten geometrischen Merkmale durchzuführen. KLA P-11 Maschine ist hochflexibel und unterstützt mehrere Anwendungen. Es ist modular und aufrüstbar konzipiert, sodass Kunden neue Funktionen hinzufügen können, ohne den Hersteller kontaktieren zu müssen. Es wurde entwickelt, um die Messungen pro Wafer zu maximieren und bietet hohe Durchsätze und kosteneffiziente Lösungen für Forschung und Produktion. TENCOR P 11 kann sowohl für Flachbildschirme als auch für Probenscheiben bis 300 mm Durchmesser konfiguriert werden. Das Werkzeug ist außerdem mit einem hochentwickelten, optischen Doppelstrahl-Mikroskop ausgestattet, das die Erfassung von Daten wie Höhe, Fläche, Linienbreite und Messungen kritischer Abmessungen ermöglicht. P11 bietet auch eine hochpräzise motorisierte Höhenachse und eine motorisierte Inspektionsstufe, die eine präzise Kontrolle über den Messort und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Darüber hinaus verfügt KLA P 11 über ein automatisiertes Kalibriermodell ohne automatische Kalibrierung, um genaue und wiederholbare Messungen zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Bordbibliothek mit durchmesserspezifischen Rezepturen, mit denen das Wafer-Messsystem schnell aufgebaut und Messungen ohne manuelle Kalibrierung durchgeführt werden können. Insgesamt ist TENCOR P-11 eine genaue und flexible Wafertest- und Messtechnik-Lösung, die präzise Messungen und einen kostengünstigen Betrieb für Forschung und Produktion ermöglicht. Die ausgeklügelte optische Dual-Beam-Mikroskop-Einheit und die automatisierte Kalibrierung sorgen für präzise Messungen, während die Bordbibliothek und die erweiterbaren Fähigkeiten es ermöglichen, für längere Zeit auf dem neuesten Stand zu bleiben.