Gebraucht KLA / TENCOR P12 #293589209 zu verkaufen

KLA/TENCOR P12 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion von Wafern mit hoher Präzision und Genauigkeit. Zur Durchführung dieser Aufgabe unterstützt es verschiedene Techniken wie optische Mikroskopie, Rasterakustikmikroskopie (SAM), optische Überlagerungsmessungen und Linienprofilmessungen. Das System besteht aus drei Teilsystemen, nämlich Optifab-, Metrologie- und YieldStar-Prozessen. Der Optifab-Prozess ermöglicht eine automatisierte Inspektion der Oberflächentopographie des Wafers, Rauheitsmessungen, Merkmalsanalyse und Lithographieanalyse von Defekten, so dass der Anwender Zielfehler und mögliche Fehlerquellen identifizieren kann. Es verwendet eine maßgeschneiderte Stufe für Bewegungsgenauigkeit und Stabilität, optischen Diffusor für Bildanalyse und bildgebende Sensoren für hochauflösende Topologiemessungen. Das Gerät ist präzise und empfindlich, um auch die kleinsten defekten Muster auf den Waferoberflächen zu erkennen. Der Metrologie-Prozess ist verantwortlich für die Bereitstellung hochauflösender messtechnischer Dienste wie Linienprofilmessungen, seitliche Robustheitsmessungen und Kontaktlochbildgebung. Es verfügt über einen berührungslosen Generierungssensor, eine hochgenaue Abtaststufe und eine optische Maschine, um Linienbreite und Linienprofil mit hoher Genauigkeit zu messen. Das Werkzeug ist auch ausgestattet, um Wellenformen, Winkel und die Größe und Symmetrie der Kontaktlöcher zu überprüfen, so dass es vielseitig und hochpräzise ist. Der YieldStar-Prozess hilft bei der Weiterverarbeitung der erfassten Daten aus den beiden vorherigen Prozessen. Es sammelt Daten aus dem Wafer für die Ausbeute Auswertung und verwendet einen Tomographie-Stil Algorithmus für die Mustererkennung. Die Benutzeroberfläche ermöglicht eine anpassbare statistische Auswertung der Dateneingaben aus den vorherigen Prozessen. Die KLA P 12 wurde entwickelt, um der steigenden Nachfrage der Halbleiterhersteller nach effizienten und präzisen Tests ihrer Wafer gerecht zu werden. Das umfassende Feature-Set eignet sich sowohl für die Forschung als auch für Produktionsumgebungen und ermöglicht es Anwendern, schnellere und präzisere Entscheidungen in Bezug auf ihren Wafer-Herstellungsprozess zu treffen. Mit seinen drei integrierten Teilsystemen und der fein abgestimmten Genauigkeit ist TENCOR P-12 ein unverzichtbares Werkzeug für jede Wafertest- und messtechnische Aufgabe.