Gebraucht KLA / TENCOR P12 #293595755 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P12 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur präzisen Messung der Wafer-Oberflächentopographie und chemischen Zusammensetzung. Dieses System verfügt über eine breite Palette von Fähigkeiten, so dass es für eine Vielzahl von Halbleiter- und optoelektronischen Anwendungen geeignet ist. Die KLA P 12 weist eine Rasterelektronenmikroskop (SEM) -Säule, eine Universalstufe und eine vertikale Stufe auf. Die SEM-Spalte bietet hochauflösende Bildgebung, um feine Details der Waferoberfläche aufzudecken. Die Universalstufe ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu handhaben und verfügt über zwei Stufen, so dass sie für die Bildgebung in verschiedenen Winkeln positioniert werden kann. Die vertikale Stufe ermöglicht ferner eine Feinpositionierung des Wafers unter dem Elektronenstrahl. TENCOR P-12 enthält eine Hochgeschwindigkeits-Autofokuskamera, um die gewünschten Oberflächenmerkmale schnell und genau zu lokalisieren. Diese Kamera ist mit einer PC-basierten Bildverarbeitungsplattform für die 2D- und 3D-Analyse und Bildverarbeitung verbunden. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe optionaler Zubehörteile wie eine Ionenquelle, eine Niedervakuumkammer und einen EDX (Energy Dispersive X-Ray) -Detektor, der chemische Analysefunktionen bietet. KLA/TENCOR P-12 verfügt über eine umfassende Metrologie-Suite. Die menügesteuerte Software verfügt über ein benutzerfreundliches Design und ist in der Lage, Multi-Parameter-Messungen durchzuführen, darunter: Steigungsmessung, CD-Messtechnik (kritische Dimension), X-Y-Stufenkalibrierung und -Ausrichtung sowie Fehleranalyse. Die CD-Messtechnik erweist sich als besonders nützlich, um die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit von Wafermustern zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einer automatischen Ausrichtungsfunktion konfiguriert, die mehrere Wafer auf der Waferstufe leicht ausrichtet. Insgesamt ist das TENCOR P 12 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool eine ideale Wahl für viele Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen, die schnelle, genaue und detaillierte Messungen der Waferoberfläche erfordern. Mit seinen leistungsstarken bildgebenden Funktionen und einer Reihe von Messfunktionen liefert es branchenführende Ergebnisse und ist ein zuverlässiges Werkzeug für den täglichen Einsatz.
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