Gebraucht KLA / TENCOR P12 #293800615 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P12 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die von der KLA, einem weltweit führenden Anbieter von Prozesskontrolllösungen, entwickelt wurde. Das System bietet die Möglichkeit, eine breite Palette von kritischen Parametern zu messen, einschließlich Variation der kritischen Dimension (CD), Overlay, kleine und große Ebenheit, Fehlererkennung, Dünnschichtdicke und mehr. Das Gerät ist für maximalen Wafer-zu-Wafer-Durchsatz, Qualität und Produktivität ausgelegt. KLA P 12 verwendet eine Subnanometer-Genauigkeit Röntgenlaser konfokale basierte Maschine mit fortschrittlicher Mustererkennungssoftware kombiniert, um eine überlegene Analyse zu liefern. Im Zentrum seiner fortschrittlichen Testfunktionen steht ein innovatives Beleuchtungsdesign, mit dem das Werkzeug sowohl tatsächliche Geräteeigenschaften als auch Filmschichten erkennen kann. Das multispektrale Detektorarray ermöglicht eine hohe Präzision, schnelle und zerstörungsfreie Messung von CD, Overlay, abgeschiedenen Filmen und anderen Merkmalen. Die Anlage ist mit einer 6-Achsen-Waferstufe und einer großen 200mm Waferkapazität ausgestattet, die einen hohen Durchsatz und eine Non-Stop-Bewegung bietet. Die fortschrittliche Optik und das Lichtdesign bieten eine optimale Messung der Eigenschaften bis hin zu Sub-Mikron-Niveaus. TENCOR P-12, bietet mehrere optische Konfigurationen zur Inspektion von Funktionsgrößen und -materialien sowie FOV-Einstellungen (Inspection Field-of-View) und Zoomfunktionen. Auf Softwareebene ist P 12 mit leistungsstarken Analyse- und Visualisierungswerkzeugen ausgestattet, um Informationen in Form verschiedener Diagramme und Grafiken korrekt anzuzeigen. Das Modell bietet auch eine globale Ausrichtung, ein Merkmal, das die Fehlausrichtung zwischen der Prüfform und dem Ziel kompensiert und so die Genauigkeit und den Durchsatz erhöht. P-12 unterstützt auch mehrere Testkonfigurationen, sodass Kunden die Anzahl der getesteten Proben optimieren können. Flexible Automatisierungsunterstützung ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse und eine breite Palette von Kommunikationsschnittstellen ermöglicht mehrere Datenübertragungsmethoden. Zusammengefasst bietet KLA/TENCOR P 12 eine komplette Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung, die höchste messtechnische Genauigkeit, Durchsatz und Flexibilität kombiniert, um höchste Qualität und Produktivität im Herstellungsprozess zu gewährleisten.
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