Gebraucht KLA / TENCOR P15 #293735654 zu verkaufen
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ID: 293735654
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
Surface profiler, 8"
Microhead II SR Stylus measurement head
Vacuum
Pentium III Microprocessor, 733MHz
RAM, 256MB
Motorized X-Y stage
LCD Color monitor, 19"
Voltage: 220V
Frequency: 50Hz
Current: 4A
Scan length: 205mm
Scan speed: ~ 25 mm/sec
Measurement range: 13um / 65um / 327um
Stylus force: 1 ~50mg
Stylus tip (Green): 2um radius
Operating system: Windows NT 4.0
2002 vintage.
KLA/TENCOR P15 ist eine von der KLA Corporation entwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist ein vielseitiges, vollautomatisches System, das entwickelt wurde, um kritische Abmessungen, Overlay und Gleichmäßigkeit von hochvolumigen Halbleiterbauelementen genau zu messen. Das Gerät ist in der Lage, Merkmale in einer breiten Palette von Größen und mit hoher Genauigkeit zu messen, so dass es für optische und elektrische Wafertests und messtechnische Anwendungen geeignet ist. KLA P-15 Maschine verfügt über eine großformatige Bühne, die eine Vielzahl von Substraten bis zu 8 "in der Größe aufnehmen kann. Dies gewährleistet eine genaue Positionierung und Ausrichtung des Wafers zur Prüfung und Messung. Das Werkzeug ist in der Lage, Merkmale auf dem Wafer von 0,2um bis 25um in der Größe zu messen. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Schichten zu messen, einschließlich Gate, Kontakt und Verbindungsschichten. TENCOR P 15 Asset umfasst eine Vielzahl anspruchsvoller Software-Tools, mit denen Bediener Komponenten auf dem Wafer schnell messen und analysieren können. Zu diesen Werkzeugen gehören ein hochauflösender, schnell abtastender Bildgebungssensor und eine Pico-Positionierstufe. Der bildgebende Sensor ist in der Lage, Bilder des Wafers bei hoher Vergrößerung zu erfassen, während die Pico-Positionierstufe eine genaue Positionierung und Ausrichtung des Wafers zur genauen Messung ermöglicht. TENCOR P15 Modell verfügt auch über ein modernes Laser-Streumessgerät, das in der Lage ist, Überlagerung und Gleichmäßigkeit von Geräten auf dem Wafer zu messen. Das Laser-Streumessgerät misst die relativen Überlagerungen von Vorrichtungen zum Substrat zur verbesserten Prozesssteuerung. Darüber hinaus kann das Gerät mit dieser Funktion Fehler in der Schicht und der Funktionsabscheidung auf dem Wafer erkennen. Neben dem Laser-Scatterometer umfasst das KLA P15 System eine Vielzahl weiterer Sensoren, darunter Sehsensoren und kapazitive Sensoren. Diese Werkzeuge werden verwendet, um eine Vielzahl von Parametern auf dem Wafer zu messen, wie elektrische Gleichmäßigkeit und Schichtdicke. Diese Informationen werden dann verwendet, um umfassende Berichte zur Analyse und Überprüfung zu erstellen. Insgesamt ist P-15 Gerät ein hochentwickeltes, einfach zu bedienendes Werkzeug zum schnellen und genauen Testen, Messen und Überwachen von Halbleiterbauelementen. Es ist mit einer Vielzahl von Software- und Hardwarefunktionen ausgestattet, mit denen Benutzer ihre Wafer mit hoher Genauigkeit und Präzision analysieren können. KLA/TENCOR P-15 Maschine ist sehr empfehlenswert für alle High-Volume-Halbleiterbauelement-Prüf- und Messanwendungen.
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