Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9004295 zu verkaufen
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ID: 9004295
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 2005
Wafer surface inspection system, 4"-8"
P/N: 00151-000
PC Configuration:
CPU: Pentium III-C 650 MHz processor
Memory: 128M
20 GB HDD
1.4MB 3.5” Floppy disk drive
OS: Windows NT 4.0
Application software: Version 6.3
Performance requirement:
Vertical range: 0-300 um
Stylus force: 1-50 mg
Constant stylus force control
Dual view optics (sideview: 95-410x, topview: 115-465x)
Black and white camera
Stylus: 2.0 um radius
2005 vintage.
KLA/TENCOR P15 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die effiziente Wafer-Prüfung und Überwachung des Herstellungsprozesses verschiedener Halbleiterprodukte entwickelt wurde. Es handelt sich um ein Multisensorsystem, das für messtechnische Anwendungen wie Querschnittsanalyse, Form & Oberflächenanalyse sowie zum Testen von Workflows eingesetzt werden kann. Dieses Gerät bietet ein breites Spektrum an Technologien, von optischen Mikroskopen, Weißlicht-Interferometrie und Stiftmessungen über elektrische Tests, thermoelektrische Tests bis hin zur akustischen Mikroskopie. KLA P-15 Maschine verfügt über eine Kombination aus fortschrittlichen Bildverarbeitungs-, Bildverarbeitungs- und Analysetechnologien. Das Werkzeug kann physikalische Eigenschaften von Wafern wie Topographie, Gleichmäßigkeit und elektrischen Widerstand erkennen. Es bietet auch eine breite Palette von Charakterisierungsparametern, einschließlich Formgröße, Steigung, Form und Ebenheit. TENCOR P 15 Asset verfügt über eine Vielzahl automatisierter Funktionen, die die optimale Überwachung von Halbleiterprozessen während der Fertigung erleichtern. Durch die Verwendung dieses Modells zur Überwachung von Wafern an strategischen Punkten in ihrer Fertigung können Hersteller bei Bedarf frühzeitige Korrekturmaßnahmen durchführen. Das Gerät verfügt außerdem über ein Echtzeitsystem zur Verfolgung und Einstellung von Waferparametern, um ein konsistentes Produkt zu gewährleisten. Das Gerät bietet robuste Datenerfassungs-, Bildverarbeitungs- und Analysewerkzeuge für die Entwicklung komplexer Wafer-Fertigungsprüfungen. Es ist in der Lage, elektronische Bilder aus dem Mikroskop zu erfassen und Daten in Berichte oder CAD-Bilder zu verarbeiten oder einen angepassten Algorithmus auszuführen, um die Partikelanzahl, Ätzraten, Kantenqualität und Ertrag auszuwerten. Diese Maschine ist mit Kantenerkennungsalgorithmen und Algorithmen ausgestattet, um die kleinen Partikel von den größeren Fehlersignalen zu trennen. Es kann Hochgeschwindigkeits- und Genauigkeitstests durchführen und liefert eine präzise und umfassende Charakterisierung von Wafern. KLA/TENCOR P 15 verfügt über eine breite Palette von Energiequellen, einschließlich Atomkraftmikroskopie (AFM), Photolithographie und Plasmaätzen. Das Datenerfassungstool unterstützt verschiedene Bild- und Charakterisierungsmodi und liefert Ausgänge in Standardformaten. Es kann sogar in andere Prüfgeräte integriert werden, um die Prozesssteuerung zu ergänzen. Abschließend ist KLA P 15 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Überwachungsinstrument, das für eine effiziente und effektive Fertigungsüberwachung entwickelt wurde. Seine robusten und umfassenden Funktionen bieten umfassende Charakterisierungs- und Feedbacksysteme für eine bessere Einsicht in eine Produktionslinie. Dieses Modell ist äußerst nützlich, um Fehler während der Herstellung zu minimieren, den Ertrag zu verbessern und Kosten und Vorlaufzeit zu reduzieren.
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