Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9154043 zu verkaufen
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Verkauft
KLA/TENCOR P15 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um hochpräzise, vollautomatische Messtechnik-Lösungen für Halbleiterbauelement-Fertigungsanlagen bereitzustellen. KLA P-15 System ist die fortschrittlichste Technologie für Wafer-Prozesskontrolle, Fehlererkennung und Schichtmessung. Es bietet sowohl elektrische Tests als auch optische messtechnische Lösungen zur Bewertung von Oberflächentopographie, Morphologie, Textur und Prozessdefekten in Halbleiterbauelementen. Das Gerät bietet eine breite Palette von messtechnischen und Testfunktionen, einschließlich elektrischer Tests, optischer Inspektion, 2D/3D-Oberfläche und Messungen kritischer Dimensionen (CD), Ertragsanalysen, Fehlercharakterisierung und automatisierter Merkmalserkennung. Es verfügt über fortschrittliche Optik und Vision Sensing-Technologie, so dass die Messung von bis zu vier Wafern gleichzeitig. Die Maschine ist zudem mit einem halbautomatischen Workflow ausgestattet und verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur einfachen und präzisen Steuerung des Wafer-Testprozesses. TENCOR P 15 Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von präzisen Messungen der Halbleiterschichten und deren Dicke mit hoher räumlicher Auflösung, geringer Teilschädigung der Proben, gleichmäßiger Präzision über den gesamten Wafer und einem automatisierten Reporting Asset zu erzeugen. Es ermöglicht auch die Identifizierung und Klassifizierung von Prozessdefekten wie Kratzern, Partikeln, Hügeln und Hohlräumen, indem multiparametrische Analysen unter Verwendung eines erweiterten Bildverarbeitungsalgorithmus durchgeführt werden. Darüber hinaus bietet KLA P 15 eine umfangreiche Palette von Datenanalyse- und Berichtsfunktionen. Sie ermöglicht es Benutzern, anhand benutzerdefinierter Parameter und Schwellenwerte detaillierte Berichte, detaillierte Fehlerkarten und Ertragsanalysen zu erstellen. Darüber hinaus bietet das Modell leistungsstarke Automatisierungsfunktionen und erweitertes Data Mining, so dass Benutzer Millionen von Datenpunkten untersuchen und ihre Trends in Echtzeit analysieren können. TENCOR P-15 ist eine fortschrittliche, erstklassige Ausrüstung für Tests und Messtechnik, die hohe Genauigkeit und höchste Zuverlässigkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen liefert. Es ist ein wertvolles Werkzeug zur Gewährleistung der Qualitätskontrolle und Aufrechterhaltung der Prozessstabilität.
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