Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9265341 zu verkaufen

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ID: 9265341
Wafergröße: 6"
Surface profiler, 6" Thick board (1.5T).
KLA/TENCOR P15 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Prozesskontrolle und Fehlerinspektion in Halbleiterfertigungsanlagen. Es funktioniert, indem es automatisierte Optik verwendet, um eine Halbleiterscheibe zu inspizieren und Elementvariation, Topographie und Diamantverteilungen zu messen. KLA P-15 verwendet eine Vielzahl von Sensoren wie ein CCD (charge-coupled device), das Bilder des Wafers erfasst und einen Laser, der verwendet wird, um die Oberfläche zu scannen. Es führt mehrere Messungen einschließlich Oberflächenrauhigkeit und Topographie sowie Fehlerinspektion. TENCOR P 15 ist für die Hochgeschwindigkeitsprüfung mit einer Abtastrate von 400 WPH (Wafer pro Stunde) und einer Auflösung von 1,5 um ausgelegt. Es hat eine Messgenauigkeit von 5 nm, mit der Fähigkeit, Submikron-Defektstellen und Prozessvariationen über den Wafer zu erkennen. Das System verfügt auch über eine Vielzahl von Kommunikationsprotokollen, wie Netzwerk-, serielle und SCSI-Schnittstellen, die eine Integration in bestehende Produktionsumgebungen ermöglichen. TENCOR P-15 Einheit zielt darauf ab, die Kosten für Halbleiterhersteller zu verbessern, da es darauf ausgelegt ist, die Zeit und Materialien für die Produktion zu reduzieren. Die Maschine ist mit einer „Smart Rating“ -Funktion ausgestattet, die optimale Pass/Fail-Entscheidungen basierend auf einer benutzerdefinierten statistischen Bewertung ermöglicht, was letztlich zu weniger Rejects und geringeren Kosten führt. P 15 verfügt auch über ein automatisches Kalibrierverfahren, das die Wafer-Inspektionen optimiert, indem die Messeinstellungen, Kalibrierung und Rezepte in wenigen Minuten eingestellt werden. Insgesamt ist KLA P 15 ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterproduktion, das Zeit, Geld und Erträge sparen kann. Seine hochgenauen, hochgeschwindigen Inspektionsmöglichkeiten bieten genaue und konsistente Messungen und liefern zuverlässigere Ergebnisse. Die automatisierte Kalibrierung, integrierte Funktionen und Smart Rating bieten kostengünstige Fehlerinspektionen und Prozesskontrolle, die die Produktivität verbessern.
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