Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9293535 zu verkaufen

KLA / TENCOR P15
ID: 9293535
Weinlese: 2000
Inspection system 2000 vintage.
KLA/TENCOR P15 ist eine vielseitige, kostengünstige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den Anforderungen von Halbleiterprozessen gerecht wird. Es bietet eine breite Palette von Wafer Charakterisierung und Messfähigkeiten für bis zu 8 ″, 12 ″ und sogar größere Wafer. Dieses System verwendet einen fortschrittlichen Laser, Optik und mechanische Komponenten, um wichtige Waferattribute zu messen, einschließlich Oberflächenrauhigkeit, kritische Dimension, Profil, Linienkantenrauhigkeit und andere kritische Eigenschaften. KLA P-15 ist um eine große Stufe und Abbildungsoptik konzipiert, die es dem Benutzer ermöglicht, die Oberfläche des Wafers genau zu scannen und zu erfassen. Die optischen Komponenten sind optimal konfiguriert, um die Bildgebungsleistung zu maximieren, während die Laser zur Bereitstellung genauer Messdaten verwendet werden. Das Gerät verfügt über mehrere Sensorköpfe, die jeweils ein einzigartiges Sichtfeld aufweisen und es ermöglichen, KEs in alle Raumrichtungen zu messen. Die beiden unabhängigen XY-Stufen bieten Scanvorgänge mit variabler Geschwindigkeit, verbesserten Durchsatz und präzisere Messtechnik-Daten. Die Maschine bietet eine Vielzahl von Messmodi, einschließlich Low-kV, Ultra-Low-kV, Hellfeld und Dunkelfeld, so dass sie eine Vielzahl von Waferattributen messen kann. Darüber hinaus bietet TENCOR P 15 automatische Ausrichtungs- und Fehlererkennungsfunktionen. Diese Funktion beschleunigt und vereinfacht die Testaufgabe im Vergleich zur manuellen Probenahme. TENCOR P15 ist auf Benutzerfreundlichkeit und Datenerfassung ausgelegt. Die offene Architektur ermöglicht eine einfache Integration mit anderen Systemen und ermöglicht die Datenerfassung aus mehreren Quellen. Es ist leicht für verschiedene Wafergrößen und Materialien konfigurierbar und kann für die Analyse, Überwachung und Entwicklung von Prozessfehlern verwendet werden. Darüber hinaus ist es für einfache Kalibrierung, Wartung und Reparatur konzipiert, mit einer Reihe von optionalen Komponenten, die hinzugefügt werden können, um das Werkzeug anzupassen. Insgesamt ist P 15 ein vielseitiges, kostengünstiges Asset, das eine Reihe von Mess-, Test- und Messtechnikfunktionen bietet. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen, die es zu einer idealen Lösung für Verfahrenstechnik, Qualitätskontrolle und Problemlösungen in der Halbleiterherstellung machen.
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