Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9302999 zu verkaufen

ID: 9302999
Surface profiler Manual.
KLA/TENCOR P15 ist eine Prüf- und Messtechnik auf Waferebene. Es ist in der Lage, sowohl die elektrischen als auch die physikalischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen zu überprüfen und zu analysieren. Es wird bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Flachbildschirmen und anderen elektronischen Komponenten verwendet. KLA P-15 verfügt über ein einzigartiges, integriertes Systemdesign und ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu handhaben. Das Gerät ist mit einer Hochgeschwindigkeits-Lichtquelle, einem optischen Weg und einer Überwachungsmaschine sowie einem robusten Softwarepaket ausgestattet. Seine Wiederholbarkeit und Genauigkeit gewährleistet zuverlässige Leistung und genaue Ergebnisse. TENCOR P 15 unterstützt Wafer-Tests für eine Reihe von Anwendungen, wie kritische Abmessungen, Folienparameter, Ausbeute-Management, hoch- und niederfrequente elektrische Leistungscharakterisierung und elektrostatische Entladungstests (ESD). Das integrierte optische Subsystem von P15 bietet hochpräzise optische Messtechnik. Diese Funktion wird durch ein erweitertes, weites Sichtfeld mit optomechanischen Mitteln ermöglicht, die von Präzisionsservomotoren und bildgebenden Instrumenten am oberen Ende angetrieben werden. Es ist für Wafer bis 8 Zoll Durchmesser ausgelegt und kann sowohl Waferdicken als auch Filmdicken messen. Das integrierte optische Teilsystem bietet auch die Möglichkeit, Widerstands- und Dickenkarten zu erfassen und zu validieren, sodass der Bediener Abweichungen identifizieren kann, die weitere Maßnahmen erfordern. KLA/TENCOR P 15 ist mit einer leistungsstarken Suite von Fehlerinspektionswerkzeugen, InspectNUX und TVSight, ausgestattet, die in der Lage sind, isolierte und vergrabene Defekte auf der Waferoberfläche zu erkennen und zu lokalisieren. Darüber hinaus bietet es umfassende DFT-Berichtsfunktionen (Design-for-Test) und Remote-Verwaltungsfunktionen. Schließlich ist P 15 mit visueller Datenanalysefähigkeit ausgestattet. Auf diese Weise kann der Bediener komplizierte Bilder mit dem bereitgestellten Programm leicht analysieren und dem Benutzer einen detaillierten und genauen Bericht über seine Ergebnisse liefern. Zusammenfassend ist KLA P15 ein Prüf- und Messtechnikmodell auf Waferebene, das für Produktions- und Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet genaue und wiederholbare Leistung und ist ideal für mehrere Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen, einschließlich DFT, elektrische Leistungscharakterisierung und Fehlererkennung. TENCOR P-15 ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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