Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9313370 zu verkaufen

KLA/TENCOR P15 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um genaue Oberflächen- und elektrische Charakterisierungsdaten während der Geräteherstellung bereitzustellen. Das System unterstützt verschiedene Industriestandard-Testprotokolle, einschließlich Wafer Order Exam (WOE), Finite Element Analysis (FEA) und Wafer Stress Testing. Die Einheit basiert auf der fortgeschrittenen 4-Quadranten-Differenzialabfragungstechnologie und verwertet einen Doppelkanal interferometric Maßkopf, um hohe Genauigkeitsoberfläche und elektrische Daten zu erhalten. Die Maschine ist in der Lage, sowohl punktaufgelöste als auch flächengemessene elektrische Parameter zu messen, einschließlich Schwellenspannung, Flachbandspannung und Mobilität. Zu den wichtigsten Funktionen des Tools gehören eine überlegene Messgenauigkeit, Wiederholbarkeit, Robustheit und ein hoher Durchsatz. Das Asset kann auch Echtzeit-Wafer-Mapping durchführen, um bestimmte Bereiche auf dem Wafer mit ungleichmäßigen Oberflächen- oder elektrischen Eigenschaften zu identifizieren. Das Modell ist auf einer skalierbaren offenen Plattform aufgebaut und verfügt über eine Reihe spezialisierter Werkzeuge wie eine Waferausrichtausrüstung mit 6-Axis Bewegungssteuerung, ein modernes optisches Mikroskop zur Probenausrichtung und -inspektion sowie einen leistungsstarken Computer zur Datenanalyse und Softwaresteuerung. Darüber hinaus verwendet es eine innovative automatisierte Kalibrierungsmethode, die manuelle Verarbeitungsschritte eliminiert und so die Systemverfügbarkeit, Leistung und Genauigkeit verbessert. Das Gerät unterstützt eine breite Palette von Testkopfkonfigurationen und eine Reihe von Wafergrößen, darunter 200mm, 300mm und 450mm Wafer. Es wurde entwickelt, um die geltenden Industriestandards in Bezug auf Sicherheit, Leistung, Genauigkeit, Umwelt und Rückverfolgbarkeit zu erfüllen. KLA P-15 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine ist ein wichtiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und ist ideal für Kunden, die hochgenaue Oberflächen- und elektrische Messungen für die Präzisionsgeräteprüfung benötigen.