Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9315026 zu verkaufen
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ID: 9315026
Surface profiler
Upgraded PC: Pentium 4
LCD Monitor, 19"
Keyboard and mouse
SSD Hard Disk Drive (HDD)
L-Stylus: 2 um/60
Operating system: Windows XP
Operation manual.
KLA/TENCOR P15 ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hohe Durchsatz- und Prüfgenauigkeit entwickelt wurde. Es basiert auf einem trinokularen Bildgebungssystem, bestehend aus einem hellen Feld und zwei Dunkelfeldkameras, und enthält eine fortschrittliche optische Cassegrain-Einheit. Dies ermöglicht die Messung von Sub-Micron-Merkmalen auf Wafern mit extrem hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit. Die Maschine ist mit einer hochwertigen Kamera und Beleuchtungswerkzeug ausgestattet, so dass eine breite Palette von dynamischen Bereich für die Bildaufnahme, um genau Submikron-Anomalien auf Wafern aufzulösen. Darüber hinaus bietet KLA P-15 ein hervorragendes Sichtfeld, das eine höhere Wafer-Probenahme als andere Systeme ermöglicht. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, sehr präzise Mustererkennungs- und Overlay-Messungen durchzuführen und verfügt über eine Vielzahl von IMS-Paketen (Integrated Measurement Services), die eine erhöhte Genauigkeit und Flexibilität für komplexe Messungen bieten. TENCOR P 15 enthält auch erweiterte Rechenfunktionen für eine schnelle Bildverarbeitung und statistische Analyse, die eine tiefgreifende Messanalyse ermöglicht. Dazu gehören mehrdimensionale und mehrschichtige Bilddarstellung sowie Bereiche von Interesse (AOI) Analyse. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, Wafermesstechnik, Fehleranalyse und Oberflächenrauhigkeitsprüfung durchzuführen, um ein vollständiges Verständnis und eine Quantifizierung der Wafereigenschaften zu ermöglichen. Schließlich bietet P 15 Hardware-Tools wie das Stepper Correlometer, automatische Fehlererkennung und Generator-Pakete, Dye Cone Correlometer und Equipment Level Defect Analysis (SLDA) zur schnellen Fehleranalyse an. Darüber hinaus bietet das System Softwarefunktionen wie Measurement EQ, eine grafische Schnittstelle zum Einrichten, Überwachen und Steuern von Tests sowie Graphische Analyse, die eine detaillierte Analyse der Ergebnisse im grafischen Format ermöglicht. Zusammen ermöglichen diese Funktionen eine höhere Prozesskontrolle, Genauigkeit und Geschwindigkeit als je zuvor.
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