Gebraucht KLA / TENCOR P15 #9401373 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9401373
Surface profiler
Keyboard
Trackball
COSTAR 2122/1000/000 Camera
ACER Computer monitor HDMI / VGA
Cables
Computer
Computer is missing faceplate
MicroHead IIsr 401994:
Vertical range: 327 m
Scanning forces: 1 mg - 50 mg
Vertical range (m) / Resolution (Å):
± 6.5 (13 Total) / 0.008
± 32 (64 Total) / 0.04
± 173 (327 Total) / 0.2
Operating system: Windows NT Workshop
Power supply: 100 V, 4 A, Single phase, 50 Hz.
KLA/TENCOR P15 ist eine integrierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die von den wichtigsten Herstellern, der KLA Corporation, entwickelt wurde, um eine signifikant verbesserte Leistung bei der Herstellung fortschrittlicher integrierter Halbleiterschaltungen sowie erhöhte Fertigungserträge zu bieten. Dieses System wurde entwickelt, um eine automatisierte Analyse einer Vielzahl von integrierten Wafern bereitzustellen, einschließlich derjenigen in Speicher, Logik, optischen und anderen komplexen Strukturen. Das Gerät nutzt den effektiven Einsatz von hochgenauer Laserinterferometrie, Defektbildgebung und fortschrittlicher Fehleranalyse. Die kommerziell erhältliche Plattform umfasst ein optisches Mikroskop, ein interferometrisches Mikroskop, eine automatisierte Waferinspektions- und Ausrichtungsmaschine sowie eine Reihe fortschrittlicher Metrologiemodule, einschließlich derjenigen, die sich auf die Ertragsanalyse und Variationen auf Stempel- und Waferebene konzentrieren. Das Tool wurde entwickelt, um eine genaue Datenerfassung von einer Vielzahl von Waferoberflächen auf Chip-Ebene zu ermöglichen. KLA P-15 bietet ein komplettes Paket zur Prüfung, Ausrichtung, Fehlerinspektion und -analyse sowie Präzisionsscanmessungen. Dieses Asset bietet eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit (mit einer besseren Wiederholbarkeit als 0.1um) für alle Arten von integrierten Schaltungen und Prozessen. Das Modell dient der automatisierten optischen und interferometrischen Inspektion, einschließlich der Erzeugung hochauflösender Bilder und der Messung von Oberflächenabmessungen. Es verfügt auch über die Fähigkeit, eine automatisierte Fehlerinspektion und Ertragsanalyse sowie eine Leistungsüberwachung auf Waferebene durchzuführen. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, eine automatisierte Ausrichtung des im Test befindlichen Wafers durchzuführen, wodurch eine genaue Messung der relativen Matrize und der Position des Chips ermöglicht wird. Dies trägt dazu bei, dass alle Teile des Wafers regelmäßig genau getestet und bewertet werden. TENCOR P 15 bietet schließlich eine einzigartige Suite fortschrittlicher Tools zur Datenanalyse und -auswertung. Dies beinhaltet die Ausgabe von detaillierten Ergebnissen, die es Anwendern ermöglichen, eine genaue Fehleranalyse durchzuführen und ein besseres Verständnis der Ursache von Fehlern zu erlangen. Das System war sehr erfolgreich bei der Qualitätskontrolle und Steigerung der Fertigungserträge über eine Vielzahl von integrierten Schaltungsprozessen. Es wurde von Branchen wie Medizin, Militär, Kommunikation und Automobil verwendet. Damit ist TENCOR zum Goldstandard in der Waferprüfung und Messtechnik geworden.
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