Gebraucht KLA / TENCOR P16+ #9130068 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9130068
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 2010
Surface Profiler, 2"-6"
Maximum scan length: 80 mm or 200 mm
Laterial resolution1: X = 25 nm, Y = 1 µm
Microhead 5 SR: Vertical range 327 µm
Stylus force 1-50 mg
13 µm, resolution <0.01A
64 µm, resolution <0.04A
327 µm, resolution < 0.20A
Microhead 5 LF: Vertical range 130 µm
Stylus force 0.05-50 mg
6.5 µm, resolution < 0.01 A
26 µm, resolution < 0.02 A
130 µm, resolution < 0.10 A
Microhead 5 XR: Vertical range 1000 pm
Stylus force 0.5 - 50 mg
13 µm, resolution < 0.01 A
130 µm, resolution < 0.08 A
1000 µm, resolution < 0.60 A
Vertical linearity2: ± 0.5% above 2000 A
10 A below 2000 A
Repeatability: 7.5 A or 0.1% (1 s),whichever is greater
Reproducibility: 15.0 A or 0.25% (1 s), whichever is greater
Scan speed3: 2 µm/sec to 25 mm/sec
Sampling rate: 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000 Hz
Stylus control: Electromagnetic force compensation
Stylus: 4 different radii for long-scan
applications—2.0 µm, 5.0 µm,
12.5 µm, 25 µm (coarse). Submicron
radius (0.1 - 0.8 µm) for micro
surface analysis (fine)
Dual view optics (field of view):
Side view: 1750 x 1750 µm
Top view: 1400 by 1040 µm or optional 900 by 650 µm
Camera: Optional digital color camera
Relative humidity : 30 - 40% (non-condensing) recommended
Temperature : 16°-25° C, rate of change ≤2° C/h
Electrical : 90 - 110 V, 50 - 60 Hz
110 - 130V, 50-60 Hz
208 - 260V, 50 - 60 Hz
Power requirements: 430 VA
Vacuum : 500 mm Hg @ 27 liters/min
Floor vibration : ≤250 µ inch/s (6 4 pm/s) RMS, 1-100 Hz
Audio noise : ≤80 dB (C weighting scale)
Laminar airflow : ≤100 ft/min (30 m/min) down blowing recommended
Microprocessor: Pentium®4 2.8 GHz or greater
Operating system : Windows® XP-based operating system
RAM : 1 GB or greater
Disk storage : 80 GB or greater
Removable storage : 3.5 inch, 1.4 MB floppy disk drive DVD/CDRW
Monitor: 17-inch flat panel LCD
Network : PCI ethernet card
2010 vintage.
KLA/TENCOR P16 + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für führende Halbleiterprozesse. Es ist das Flaggschiff der KLA-Familie und bietet branchenführende Leistung für Partikelprüfung, Prozesskontrolle und Wafer-Oberflächenmesstechnik. KLA P 16 + unterstützt mehrere Waferkonfigurationen, einschließlich 12-Zoll-und 8-Zoll-Wafer, sowie Unterstützung 3-Dimensional berührungslose (3D-NC) Inspektion und optische 3D-Profilierung (3DOP) Anwendungen. Das System bietet erweiterte Testfunktionen für alle Arten von Wafer-Topographien, wie TSV, Cu-Säule und eTOX. Es wurde entwickelt, um genaue Messungen über Substrattopographie, 3D-Funktionen und andere kritische Parameter zu liefern, auch für erweiterte Testanforderungen. TENCOR P-16 + -Einheit bietet sowohl berührungslose als auch kontaktlose Testfunktionen. Es umfasst innovative, fortschrittliche Architekturen und patentierte Technologien, die die Zeit der Wafertests und der vollständigen Datenerfassung reduzieren. Diese Technologien ermöglichen es der Maschine, Testergebnisse effizient mit etablierten Standards anhand der gewünschten Kriterien oder vordefinierten Grenzwerte zu vergleichen. Das Tool kann auch Fehler mit erweiterten algorithmusbasierten automatischen Fehlererkennungsfunktionen erkennen. TENCOR P 16 + verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche für einfaches Datenmanagement und visuelle Darstellung der Ergebnisse. Es kommt auch mit einer Reihe von einzigartigen Software-Tools für verbesserte Effizienz und Produktivität, einschließlich DataTrends-Tools, Digital Manufacturing Toolbox und Bildanalyse. Die umfassende Toolbox, kombiniert mit einer Reihe von Funktionen, die über webfähige Schnittstellen verfügbar sind, ermöglicht es dem Asset, Ergebnisse schnell zu analysieren, zu visualisieren und zu berichten, was es zu einer idealen Wahl für die Produktion macht. Darüber hinaus unterstützt das Modell branchenführende Metrologie-Funktionen und bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Es kombiniert fortschrittliche Algorithmen mit Hochgeschwindigkeits-Scanning, um ultraglatte Oberflächen auf einer Vielzahl von Substratmaterial zu erzeugen. Es unterstützt auch mehrere messtechnische Anwendungen für eine Reihe von Anwendungen, von der erweiterten Prozesssteuerung bis zur Ertragsanalyse. TENCOR P16 + bietet Herstellern ein effizientes, kostengünstiges Werkzeug zur Messung, Analyse und Inspektion von Geräten. Es bietet erstklassige Leistung mit intelligenzbasierten Automatisierungsfunktionen, einem umfassenden Toolset und erweiterten Funktionen für Wafertests und Messtechnik. Die Ausrüstung ist eine ideale Wahl für Serienumgebungen und bietet die Flexibilität und Genauigkeit, die erforderlich sind, um Ertrags- und Zykluszeiten zu gewährleisten.
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