Gebraucht KLA / TENCOR P16+ #9268287 zu verkaufen
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ID: 9268287
Wafergröße: 8"
Profiler, 8"
X, Y Motorized stage
Standard range: Microhead 5 SR
With 2 um stylus
Measurement vertical range: 327 µm
Stylus force: 0.5 ~ 50 mg
Top and side view optics
Objective lens: 4x, 0.12 nA (Standard)
Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR P16 + ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und Ertragsoptimierung durch die Kombination von Top-Level-Interferometrie, optischen 3D-Messsystemen und messtechnischer Prozesssteuerung zu bieten. KLA P 16 + verwendet fortschrittliche und integrierte Interferometrie-Technologie, um eine Vielzahl von kritischen Waferattributen wie Verzug, Parallelität, Bogenmaße, Ebenheit und Dicke zu messen. Es ist auch in der Lage, die Position, das Profil und die Tiefe von mikroskopischen Merkmalen auf der Vorder- und Rückseite des Wafers zu bestimmen. Darüber hinaus bietet TENCOR P-16 + Anwendern die Möglichkeit, Stapel- und Schritthöhe durch seine 4D-Metrologie-Fähigkeiten zu messen. KLA P16 + verwendet ein Hochleistungsoptikmodul, das eine Laserquelle, eine Linse und einen Detektor enthält. Das System enthält auch eine ausgeklügelte Elektronik, die die vom Detektor empfangenen Signale verarbeiten kann, um genaue und wiederholbare Messungen zu erhalten. Die Optik wird von der Einheit kalibriert, um einen präzisen Betrieb zu gewährleisten. Die integrierten Prozesssteuerungsfunktionen der Maschine ermöglichen es Anwendern, die Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen und zu optimieren. Dies ermöglicht eine erhöhte Prozesswiederholbarkeit von Wafer zu Wafer und Run to Run, wodurch Produktvariationen und Prozessungleichförmigkeiten minimiert werden. Es ist auch in der Lage, Live-Feedback und Detektion von potenziellen Anomalien von Parametern. P 16 + kommt auch mit benutzerfreundlicher Software, die Fernbedienung und Datenerfassung bietet. Die Software ermöglicht eine effiziente Datenanalyse und Berichterstattung über die Prozessleistung. Darüber hinaus kann das Tool in andere Standard-Werksautomatisierungssysteme wie SPC- und SECS-kompatible Systeme integriert werden. P-16 + bietet Anwendern eine zuverlässige und leistungsstarke Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung. Die ausgeklügelten Funktionen, die integrierte Prozesssteuerung, die Datenerfassung und die Berichterstattung ermöglichen es Benutzern, mehr Ertrag, Qualität und Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten.
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