Gebraucht KLA / TENCOR P16+ #9395529 zu verkaufen

ID: 9395529
Surface profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P16 + ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das von der KLA Corporation, einem führenden Anbieter von Messtechnik und Inspektionslösungen, entwickelt wurde. KLA P 16 + -Ausrüstung bietet erweiterte 2D-Messtechnik und bildgebende Funktionen für Halbleiter-Wafer-Prozessüberwachung, Charakterisierung und Fehleranalyse. Es bietet eine erweiterte Prozessabdeckung, um optimale Ausbeuten in allen Phasen des Chip-Herstellungsprozesses zu gewährleisten. Das TENCOR P-16 + System ist für die Messtechnik, Bildgebung und Analyse mit hohem Volumen konzipiert, um die Prozessoptimierung von Geräten mit niedriger Temperatur zu unterstützen. Es wurde mit einer integrierten Messtechnik-Plattform entwickelt, die 3D-Scanfunktionen mit optischen, spektroskopischen und elektrischen Messlösungen kombiniert. Die Einheit verfügt über eine erweiterte Suite von Werkzeugen zur Bestimmung von Waferebenenparametern wie Profil, Ebenheit und Schichtdicke. Die Maschine KLA/TENCOR P-16 + ermöglicht eine automatisierte Messung des Prozessverhaltens auf Waferebene und bietet verbesserte Durchsatz- und Messfähigkeiten sowohl für Einzel- als auch für Mehrfachstempel-Implementierungen. Die fortschrittlichen Algorithmen zur optimierten Fehlererkennung (ODD) und zur Bilderkennung (IR) erleichtern die schnelle Bewertung von Prozessfehlern, um Qualitätsprobleme zu erkennen, bevor sie einen Ertragsverlust verursachen können. TENCOR P 16 + Werkzeug ist auch für Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Produktionsprozesses konzipiert. Es erfüllt strenge Produktionsanforderungen mit spezialisiertem Algorithmus für die Messung und Messtechnik kritischer Dimensionen (CD) und ermöglicht eine schnelle und effiziente Prozessbewertung. Das Asset ermöglicht die standortübergreifende Überwachung und Berichterstattung von Prozessproblemen und trägt dazu bei, dass die Variabilität auf ein Minimum beschränkt bleibt. Das Modell KLA P16 + bietet umfassende Datenanalyse- und Berichtsfunktionen mit der erweiterten Software-Suite TENCOR FabOptimizer. Die FabOptimizer Suite bietet eine Echtzeit-Analyse der Prozess- und Gerätedaten, um eventuelle Probleme zu identifizieren und anzugehen. Es bietet integrierte Qualitäts-Dashboards, die eine schnelle Prozessoptimierung durch Warnungsmanagement und Parameterverfolgung ermöglichen. Das Gerät bietet auch Standort-/Funktions-/diskrete Data-Mining-Funktionen, um eine tiefergehende Prozessanalyse zu ermöglichen. Insgesamt ist P16 + ein fortschrittliches Metrik-, Bildgebungs- und Analysesystem, das für robuste Wafertests und Messtechnik entwickelt wurde. Die integrierte Messtechnik-Plattform bietet umfassende Prozessabdeckung, automatisierte Messung, verbesserte Messgrößen und zuverlässige Wiederholbarkeit. Mit fortschrittlichen Datenanalyse- und Berichtsfunktionen trägt TENCOR P16 + zur Ertragskontrolle und Prozessoptimierung bei der Waferherstellung bei.
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