Gebraucht KLA / TENCOR P2 #293595754 zu verkaufen

KLA / TENCOR P2
ID: 293595754
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1996
Disk profiler, 6"-8" 1996 vintage.
KLA/TENCOR P2 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Analyse von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist ein hochintegriertes System zur Messung und Bewertung der topographischen und elektrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben. KLA P-2 enthält einen Hochgeschwindigkeits-Bildsensor zur Erfassung topographischer Merkmale des Wafers, einen leistungsstarken Bildprozessor zur Analyse der erfassten Daten und mehrere andere Sensoren zur Messung der physikalischen Eigenschaften des Wafers, wie z.B. seines Widerstandes. Der in TENCOR P 2 enthaltene Bildsensor ist ein fortgeschrittenes Array ladungsgekoppelter Geräte (CCDs), das große Bereiche der Waferoberfläche erfassen kann. Das Großformat ermöglicht das Sammeln von mehr Datenpunkten über den Wafer und sorgt dafür, dass Datenpunkte schneller gesammelt werden. Der Bildprozessor ist in der Lage, die erfassten Bilddaten schnell und genau zu analysieren, Fehler zu identifizieren und eine detaillierte topographische Karte der Waferoberfläche zu erstellen. Der Prozessor bietet auch messtechnische Fähigkeiten und berechnet verschiedene Leistungsparameter des Wafers, wie seine Spannung, Widerstand und Dicke. Neben dem Bildsensor und dem Prozessor umfasst P-2 eine Reihe spezialisierter Sensoren zur Messung verschiedener elektrischer und physikalischer Eigenschaften des Wafers. Dazu gehören KLA-VFET-Sensor, ein fortschrittlicher elektrischer Leistungstester, der Perimeter-Guard-Scanner, ein Kontaktwiderstand-Map-Scanner und die Sondeneinheit, ein Array von Sonden zur Messung von Eigenschaften wie Widerstand, Ebenheit und Oberflächengleichförmigkeit. Die KLA P 2 beinhaltet auch eine Sichtmaschine zur Sichtprüfung von Wafern. P2 ist hochautomatisiert und in der Lage, eine Vielzahl von Aufgaben in einer einzigen Sitzung auszuführen. Es kann elektrische Leistungsmerkmale wie Spannung, Strom, Widerstand, Kapazität und Induktivität messen. Das Werkzeug hat auch die Fähigkeit, das Profil, die Dicke und die Oberflächenqualität des Wafers sowie seine Ebenheit und Oberflächengleichförmigkeit zu messen und zu analysieren. Die Breite der Merkmale und Funktionen von KLA/TENCOR P-2 machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Analyse und Auswertung von Halbleiterscheiben. Seine hochautomatisierte Art ermöglicht eine schnelle Messung und Beurteilung der elektrischen und physikalischen Eigenschaften des Wafers. Die von P 2 gesammelten Daten können dann verwendet werden, um strategische Entscheidungen zu treffen und Prozessänderungen zu erstellen, die die Halbleiterherstellung verbessern.
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