Gebraucht KLA / TENCOR P2 #9100966 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P2 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Beurteilung der elektrischen Eigenschaften von Wafern im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Das System besteht aus Probenhalter, Testkopf, Beleuchtungs-Subsystem, Messtechnik-Subsystem, Software-Schnittstelle und Datenerfassungs- und Analysemodul. Der Probenhalter befestigt den Wafer an der Ausrüstung und hält ihn während der Prüfung fest. Der Prüfkopf ist der Ort, an dem der elektrische Prüfprozess stattfindet. Der Prüfkopf enthält eine integrierte Stromversorgung, einen digitalen Signalprozessor und einen Satz Wafer-Sonden. Die Stromversorgung ermöglicht es den Sonden, ein vorgegebenes elektrisches Signal an den Wafer abzugeben. Der digitale Signalprozessor dient zur Modifikation des Signals als Reaktion auf die während des Testvorgangs gesammelten Daten. Das Beleuchtungs-Subsystem liefert die für den bildgebenden Prozess benötigte Beleuchtung. Es besteht aus Lichtquellen und Linsen, die eine gleichmäßige Beleuchtung des Wafers ermöglichen. Das messtechnische Teilsystem umfasst das bildgebende Gerät, das Bilder des Wafers erfasst. Es kann konfiguriert werden, vergrößerte Bilder oder Echtzeitbilder der Oberfläche des Wafers bereitzustellen, und es kann auch elektrische Eigenschaften wie Widerstand, Kapazität und Durchbruchspannung messen. Die Softwareschnittstelle ermöglicht es dem Benutzer, die Geräteparameter zu steuern und die gesammelten Daten für die Nachbearbeitung zu speichern. Es wird verwendet, um die Mess- und Steuerparameter der Maschine zu konfigurieren, den Testablauf zu initiieren und die Datenerfassung und -analyse zu verwalten. Das Datenerfassungs- und Analysemodul dient zur Verarbeitung der aus dem Wafer-Testprozess erhobenen Rohdaten und zur Erstellung von Berichten mit detaillierter Analyse der Ergebnisse. Schließlich enthält KLA P-2 eine Reihe von Diagnosetools, um sicherzustellen, dass alle Ergebnisse genau und zuverlässig sind. Dazu gehören ein Fehler- und Anomalieerkennungswerkzeug, ein Testqualitätssicherungsgut und ein Ertragsanalysemodell zur Optimierung des Produktionsprozesses. Insgesamt bietet TENCOR P 2 eine umfassende Lösung für Wafertests und Messtechnik. Es bietet überlegene Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit, um eine effiziente und zuverlässige Produktionsprozesskontrolle zu gewährleisten.
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