Gebraucht KLA / TENCOR P2 #9281925 zu verkaufen
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ID: 9281925
Long scan profiler
Configuration:
Sample size: 254x254 mm
Standard head & 5µm stylus
Standard range: Microhead with 1 - 50mg force
Scan length: 205mm
Scan speed: 1µm~25mm/sec
Step height repeatability
Motorized X-Y stage
Rotary stage:
Angle: 0-360°
Resolution: 0.1°
Anti vibration table.
KLA/TENCOR P2 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein automatisiertes Rasterelektronenmikroskop (SEM), das speziell für die Herstellung und Prüfung von IC entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, nanoskalige Merkmale auf Substratscheiben und Matrizen in Bezug auf Qualität, Einheitlichkeit und Konsistenz abzubilden. KLA P-2 wurde speziell für die engmaschige Prozesskontrolle und systematische Fehleranalyse entwickelt und verfügt über die robusteste, zuverlässigste und reproduzierbare Leistung. TENCOR P 2 verfügt über die Optik- und Elektronikkomponenten, die für die schnelle und genaue Analyse einer großen Anzahl von Geräten sowohl in industriellen Wafer- als auch in Werkzeuganwendungen erforderlich sind. P-2 kann In-Kontext- und Die-Level-Bilder, Messungen und Zählungen mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit erfassen. Die WaferSense® -Elektronik wird in die internen Mechanismen von TENCOR P2 integriert und stellt vor der Bildgebung automatisch Testbedingungen ein und kalibriert. Dies hilft, menschliche Fehler zu beseitigen und die Testauflösung und -genauigkeit deutlich zu verbessern. Es erhöht auch die Geschwindigkeit, mit der Wafer und Stempel getestet werden können, da die Tests in nur wenigen Minuten abgeschlossen werden können. KLA/TENCOR P-2 ist auch mit einem innovativen bildgebenden Detektor ausgestattet, der überlegene Bildklarheit und Signal-Rausch-Verhältnis liefert. Dieser hochmoderne CCD-Detektor passt die Bildparameter automatisch an, was eine verbesserte Auflösung und einen größeren Kontrast zwischen verschiedenen Gerätefunktionen ermöglicht. Das Gerät ist auch in der Lage, halbautomatische und automatische Rezepte für Inspektions- und Messaufgaben zu erstellen. Dies hilft, manuelle Programmierung zu beseitigen und menschliche Fehler im Zusammenhang mit manuell kodierenden Rezepten zu beseitigen. KLA P2 speichert auch alle erfassten Daten, die leicht abgerufen und zum Vergleich analysiert werden können. Kurz gesagt, KLA P 2 Maschine ist ein leistungsfähiges, zuverlässiges und genaues automatisiertes Rasterelektronenmikroskopwerkzeug. Es ist für eine engmaschige Toleranzprozesskontrolle und systematische Fehleranalyse in einer Vielzahl von IC-Fertigungs- und Testanwendungen konzipiert und verfügt über die aktuellsten Abbildungs- und Messfähigkeiten. Seine WaferSense-Elektronik und erweiterte Beleuchtungsfunktionen sorgen für eine unschlagbare Auflösung und Genauigkeit, während die automatisierte Rezeptur-Funktion lautlos die vollständige Kontrolle über das Asset übernimmt. P 2 ist somit ein ideales Werkzeug zur Optimierung der Geräteausbeute und Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie.
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