Gebraucht KLA / TENCOR P2 #9402153 zu verkaufen
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KLA/TENCOR P2 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Inspektion von Halbleiterbauelementen und Schaltungen verwendet wird. Es bietet eine Reihe integrierter Funktionen zur Inline-Probenüberwachung, Klassifizierung, Fehleranalyse und Fehlerisolierung. Das System verwendet verschiedene optische, elektrische und optothermische Techniken zur Inspektion und Charakterisierung von Wafern. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Wafer Analyzer und dem Wafer Level Metrology (WLM) Subsystem. Der Wafer Analyzer scannt jeden Bereich sequentiell und sammelt elektrische Daten, die verwendet werden, um Fehler zu identifizieren, während das WLM Subsystem sowohl optische als auch elektrische Informationen integriert, die verwendet werden, um die strukturellen Eigenschaften und die elektrische Leistung jedes Geräts zu charakterisieren, zu messen und zu überprüfen. Für die elektrische Prüfung und Charakterisierung verwendet das Gerät eine spektrale Abbildungstechnik, die den Widerstand, die Kapazität und andere Geräteparameter mit hoher Genauigkeit und Auflösung misst. Die elektrischen Charakterisierungsfunktionen bieten leistungsstarke Fehlerisolierungs- und Fehleranalysefunktionen für Geräte. Das Teilsystem WLM integriert die optischen und elektrischen Testinformationen in einer einzigen Plattform. Dadurch kann die Maschine mehrere Aspekte des Wafers in einem einzigen Scan messen und die Genauigkeit der Gerätekennzeichnungen verbessern. Zur Fehleranalyse und Fehlerisolierung verwendet das Tool mehrere bildgebende Techniken, einschließlich helles Feld, dunkles Feld und spektrale Bildgebung. Die Anlage ist auch mit Stresstests ausgestattet, um reale Bedingungen zu simulieren und fehlerhafte Geräte unter unterschiedlichen Bedingungen genau zu identifizieren. KLA P-2 wurde entwickelt, um Wafer in der Halbleiterproduktionsumgebung schnell und präzise zu überwachen und zu charakterisieren. Es bietet eine qualitativ hochwertige und kostengünstige Lösung für Hersteller, die eine leistungsstarke Gerätekennzeichnung, Fehlerisolierung und Fehleranalyse benötigen. Es ermöglicht eine schnellere Durchlaufzeit im Produktionsprozess und verbesserte Produktionserträge.
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