Gebraucht KLA / TENCOR P20H #293753931 zu verkaufen
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ID: 293753931
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
High resolution profiler, 8"
Cassette port
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
Wafer cassette: 8" PP (Miraial: KM-803P-K)
Includes:
Computer unit
Sensor (Micro head 1 LF)
Open wafer handler, 8"
Star JR-100 graphic printer
Option: SECS/GEM
No SMIF
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um ein automatisiertes Multisensorsystem zur Analyse und Charakterisierung der elektrischen, optischen und physikalischen Eigenschaften eines einzelnen Halbleiterwafers. Die KLA- P-20H-Einheit kann die elektrischen Eigenschaften eines Geräts mit Hilfe des In-situ-Tastkopfes und seines Kapazität-Spannungs-Wandlers messen. Darüber hinaus wird eine optische Maschine verwendet, um die Geometrie eines Geräts einschließlich Linienbreite und -tiefe mit großer Präzision zu charakterisieren. Die weitere Analyse der Mikrongeometrie und der Oberflächenmerkmale erfolgt über einen einstellbaren Fokusstift. Das Messtechnik-Tool verwendet die proprietäre berührungslose Messtechnik der KLA, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es ist in der Lage, Funktionen im Nanometermaßstab mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. Die Anlage ist in der Lage, Hochgeschwindigkeits-Produktionsaufträge auszuführen und misst bis zu 250 Wafer pro Stunde unter Beibehaltung hoher Genauigkeit. TENCOR P20H ist auch sehr zuverlässig und wartungsarm konzipiert. Es hat eine Festkörperkonstruktion mit minimalen beweglichen Teilen, die das Potenzial von Umweltschäden und Verschleiß reduziert. Es hat auch eine einfache Benutzeroberfläche und Steuermodell, mit dynamischen Navigations- und Navigationslinks, die es einfach zu bedienen und zu verstehen macht. Darüber hinaus ist P20H mit einem einzigartigen Messtechnik-Softwarepaket von TENCOR ausgestattet. Es umfasst Werkzeuge zur automatisierten Ausrichtung und Sondenkalibrierung, Fehlererkennung und Waferanalyse sowie statistische Prozesskontrolle. Dadurch wird sichergestellt, dass die aus dem Gerät gewonnenen Daten zuverlässig und genau sind. Insgesamt ist KLA/TENCOR/PROMETRIX P20H ein leistungsfähiges und zuverlässiges Messsystem für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet unschlagbare Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit, so dass es für eine Vielzahl von Produktionsumgebungen geeignet ist. Es wurde entwickelt, um sehr zuverlässig und wartungsarm zu sein, so dass es ideal für die Hochleistungsproduktion ist.
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