Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293602390 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine fortschrittliche automatisierte Oberflächenmesstechnik, die zur Messung der Oberflächenqualität von Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet umfassende Wafer-Test- und Messtechnik-Funktionen durch seine mehrkanalige, mehrachsige Bildgebungsfähigkeit. KLA 6200 Surfscan-System wird verwendet, um Oberflächenrauhigkeiten, Profil- und Kontureigenschaften und andere kritische Aspekte der Waferoberflächenqualität zu messen. Die 6200 ist mit einer Mustererkennungseinheit ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, eigene Messungen aus Bildern der Waferoberfläche zu erstellen. Die Maschine kann entweder mit konventionellen mechanischen Scantechniken oder fortschrittlichen interferometrischen Techniken verwendet werden, die Ergebnisse höherer Auflösung liefern. TENCOR 6200 Surfscan ist für hohen Durchsatz und effizienten Einsatz optimiert. Es umfasst drei Hauptkomponenten: eine hochauflösende Digitalkamera, eine Präzisions-x-y-Stufe für den Probenscanner und ein hochauflösendes Bildgebungswerkzeug. Die Kamera wird verwendet, um Videobilder der Waferoberfläche zu erfassen und eine Bildkarte ihrer Merkmale zu erzeugen. Die Präzisionsstufe wird verwendet, um den Wafer zu scannen, indem er relativ zur Kamera entlang zwei Achsen bewegt wird. Das hochauflösende bildgebende Element erfasst dann Daten von jedem Punkt der gescannten Oberfläche, um ein 2D-Bild zu erzeugen. Das Modell ist in der Lage, Oberflächenmerkmale bis zu Sub-Nanometer-Genauigkeit zu messen. Die Ausrüstung liefert hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse bei minimaler Bedienereinbindung. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten, wie einkristallines, polykristallines und epitaxiales Silizium, und kann Oberflächen mit gekrümmten, flachen oder gestuften Formen messen. 6200 Surfscan ist einfach zu bedienen und funktioniert über eine Windows PC-Schnittstelle. Die grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, eigene Parameter für Messungen zu definieren, Ergebnisse in Echtzeit anzuzeigen und detaillierte Berichte für die Engineering-Analyse zu erstellen. Und seine automatisierten Wafer-Test- und Messtechnik-Fähigkeiten stellen sicher, dass Wafer auf Qualität und Genauigkeit überprüft werden können. Insgesamt ist PROMETRIX 6200 Surfscan ein ideales Werkzeug zur Bewertung der Oberflächenqualität von Halbleiterscheiben. Die Kombination aus hochauflösender Bildgebung, automatisiertem Scannen und Echtzeit-Reporting macht das System zu einer idealen Lösung für die Kontrolle und Qualitätssicherung von Halbleiterprozessen.