Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293621540 zu verkaufen

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ID: 293621540
Weinlese: 1997
Inspection system 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die umfassende Testfunktionen und hohe Genauigkeit bietet. Das System wurde entwickelt, um Benutzern wichtige Daten zur Verfügung zu stellen, die zur Optimierung der Produktleistung und zur Minimierung von Ertragsverlusten verwendet werden. KLA 6200 Surfscan-Einheit verfügt über überlegene Leistung, mit einer patentierten Co-Ausrichtung, Dual-Laser-Maschine und überlegene Optik bietet überlegene Waferausrichtung, axiale und radiale Messungen präzise auf innerhalb von 5 Mikrometer über eine Reihe von Düsengrößen, Steigungsgrößen und Orientierungen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, 400 + Vollfeldmessungen pro Sekunde durchzuführen. Das Asset bietet eine robuste Prozesssteuerung über die Messtechnik-Software EikonixPegasus, mit der Anwender bestimmte Parameter einstellen und umfassende Feld-, Linear-, 1D- und Profilmessungen durchführen können. Die Software bietet auch leistungsstarke Analysetools für erweiterte Prozessfähigkeit und Ertragsanalyse. Das Surfscan-Modell TENCOR 6200 bietet eine Reihe von Wafer-Sondierungsfunktionen, die den Anforderungen anspruchsvollster Prozesse und Anwendungen gerecht werden. Seine Vektorsondierungs- und Stempelerkennungsfunktionen ermöglichen eine verbesserte Fehlererkennung, eine verbesserte Ertragsanalyse und eine beschleunigte Datenanalyse. Darüber hinaus bietet das Gerät branchenführende Messdurchsätze mit einer maximalen (100mm) Empfindlichkeit von bis zu 2000 Feldern pro Sekunde ohne zusätzliche Ausrichtungszeit und bietet eine vollständige Palette von OPC-Messungen einschließlich Hoch- und Niederspannung, HSOT und E-Beams. Das Gerät bietet auch 3D Critical Dimension (3DCMAD) Messungen, eine Technologie, die die Messung von metallischen Folien und die Abbildung von Merkmalen unterhalb der Beugungsgrenze ermöglicht. 6200 Surfscan hat eine maximale Messgeschwindigkeit von 1 Feld pro Sekunde und ist ISO und SEMI-konform. Zusammenfassend ist das Surfscan-System PROMETRIX 6200 eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die den Anwendern eine robuste Prozesssteuerung und schnelle, genaue Messungen bietet. Seine fortschrittlichen Technologien und sein breites Spektrum an Sondierungsfähigkeiten machen es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleitertestanwendungen.
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