Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078061 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan-Geräte sind ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für eine breite Palette von Geräte- und Prozessüberwachungsanwendungen optimiert ist. Es vereint verschiedene Technologien, wie optische Streuung, Ellipsometrie, chemische mechanische Planarisierung (CMP) und messtechnische Leistungsbewertung, um eine überlegene Waferoberflächencharakterisierung sowie eine breite Palette von prozess- und ertragsbezogenen Messungen zu erreichen. KLA 6200 Surfscan verwendet eine fortschrittliche, hochauflösende optische Streuungseinheit zur Detektion und Charakterisierung der Submikron-Oberflächentopographie. Diese Maschine ist in der Lage, Funktionen mit Auflösungen von bis zu 0,3 Mikron zu messen und liefert genaue und wiederholbare Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt TENCOR 6200 Surfscan über eine dynamische Plattform für eine Vielzahl von Ellipsometrie-Konfigurationen und -Techniken sowie erweiterte Phasenmodulationsansätze, die für die genaue Messung komplizierter Wafergeometrien optimiert sind. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Vielzahl leistungsstarker messtechnischer Fähigkeiten, wie die dreidimensionale Topographie-Rekonstruktion (ET), um Einblicke in die Gesamtform des Wafers zu erhalten. Es verfügt auch über eine intuitive Software-Benutzeroberfläche, die präzise Test-Setup-Konfigurationen ermöglicht, einschließlich wiederholter (In-Line) und umfassender (Batch) Messungen. 6200 Surfscan bietet auch eine komplette Palette von CMP-Messungen, wie statische Oberflächenmorphologieanalyse (SSMA), Kratzmapping, Makropartikelerkennung und Adhäsionsmessungen. Diese Messungen ermöglichen es dem Asset, Schwachstellen und Defekte zu erkennen sowie das Spindelwachstum für eine verbesserte Prozesskontrolle zu quantifizieren. Darüber hinaus kann das Modell für Nachprozessfehlerprüfungen und Leistungstests, wie Sondierungsspannungen und -ströme, verwendet werden, um ein ordnungsgemäß funktionierendes Gerät zu gewährleisten. Mit diesen leistungsstarken Funktionen ausgestattet, ist PROMETRIX 6200 Surfscan ein ideales Werkzeug für Forschungs- und Produktionslabore und liefert schnelle, zuverlässige und aufschlussreiche Wafertests und Messtechnik. Es ermöglicht es Benutzern, winzige Oberflächenmerkmale zu erkennen, die nicht durch andere Techniken erkannt werden können, so dass sie Waferprozesse effektiv überwachen und die Gesamtausbeute und die Produktionseffizienz verbessern können.