Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9152152 zu verkaufen

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ID: 9152152
Weinlese: 1994
Wafer surface analysis system 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die für Hochgeschwindigkeits-Wafertests und Messtechnik entwickelt wurde. KLA 6200 Surfscan ist ein modernes System mit vielen fortschrittlichen Funktionen, wie einem kapazitiven Kopf, einer dreiachsigen Stufe und einem fortschrittlichen 100-mm-Industriewafer-Handler. Das Gerät ist in der Lage, Wafer verschiedener Größen zu testen, darunter 200, 300 und 400 mm. Die Maschine ist mit einem hochpräzisen dreiachsigen Bühnenwerkzeug mit einem Hubbereich von bis zu 150 mm mit einer Auflösung von weniger als 0,2 mm ausgelegt, was eine präzise Ausrichtung und absolute Positionierung ermöglicht. Es bietet auch einen breiten dynamischen Bereich für genaue Sondierung und präzise Datenerfassung. Die Anlage ist auch mit einem fortgeschrittenen kapazitiven Kopf ausgestattet, der eine höhere Empfindlichkeit und einen höheren Dynamikbereich bietet und höhere Genauigkeitsmessungen ermöglicht. Sie ist in der Lage, Messungen über einen Bereich von 5 Nanometern bis 15 Mikrometern mit einer Auflösung von bis zu 0,01 Nanometern durchzuführen. TENCOR 6200 Surfscan hat einen fortschrittlichen 100mm industriellen Wafer-Handler, der die Kantenerkennung und genaue Inspektion von Wafern ermöglicht. Es hat eine Ladeschloßtiefe von bis zu 200mm und eine Wafer-Erfassungs- und Transportgenauigkeit von ± 3,0 μ m. Es ist auch in der Lage, sowohl grobe als auch feine Ausrichtung von mehreren Wafern, bis zu 200mm. Das Modell verfügt über eine automatisierte Kalibriereinrichtung, die für verschiedene Messungen angepasst werden kann und die die Einstellung von Parametern wie Fokus, Belichtung, Verstärkung und Offset ermöglicht. Das System ist zudem mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die die Steuerung und Überwachung von Parametern und Einstellungen ermöglicht. Darüber hinaus bietet PROMETRIX 6200 Surfscan eine Vielzahl von Optionen für die Datenanalyse und bietet Benutzern die Möglichkeit, Daten auf verschiedene Weise zu analysieren, einschließlich Peak-Analyse, eigenständige Bibliotheken, Rezepturvergleich usw. So können Anwender Fehler in ihren Wafern schnell erkennen und diagnostizieren. Insgesamt ist 6200 Surfscan eine hochmoderne Einheit, die für Hochgeschwindigkeits-Wafer-Tests und Messtechnik entwickelt wurde. Neben seiner Präzision und Genauigkeit bietet es eine Reihe von Funktionen, mit denen Benutzer Probleme mit ihren Wafern schnell diagnostizieren können.
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