Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Messung und Analyse von Oberflächenmerkmalen wie mikroskopischen Vorsprüngen (oder Schritten) und Pits in einem Gerät im Test (DUT) entwickelt wurde. Dieses System verfügt über eine Abtastrate von bis zu 10 kHz, eine Strahlfleckgröße von 10 µm und eine Auflösung von bis zu 1 µm. Das Gerät besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Scan Head, der die Optik, Elektronik und Mechanik beherbergt; der Messmotor; und die Analyse-Benutzeroberfläche. Der Scan Head ist für die Erfassung und Generierung der messtechnischen Daten verantwortlich und mit einer Laserdiode zum Scannen des DUT-Wafers ausgestattet. Das Licht aus dem Laser wird fokussiert und dann zurück zum Scankopf reflektiert, wodurch ein Bild der Oberflächentopographie des DUT erzeugt wird. Dieses Bild wird dann von der Messmaschine verarbeitet, die die Bilddaten erfasst und Filter- und Optimierungsalgorithmen durchführt. Die Daten werden dann auf die Analyse-Benutzeroberfläche hochgeladen, über die die Scan-Profile und die verarbeiteten Daten eingesehen werden. Parameter wie Schritthöhen, Grubengrößen, Oberflächenrauhigkeiten und unterrepräsentierte KEs können aus den Scan-Profilen extrahiert werden. Darüber hinaus ist die Maschine mit „SmartScan“ -Technologie ausgestattet, die auf der Integration von Oberflächenanalyse und Code-gesteuerten Optimierungsalgorithmen basiert. Diese Technologie verbessert die Fähigkeit des Werkzeugs, den Ertrag zu optimieren und den Bedarf an kostspieligen parametrischen Messungen zu reduzieren. Außerdem wird eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) bereitgestellt, die die Bedienung des Assets sowie die Anzeige und Analyse der Daten unterstützt. Abschließend ist KLA 6200 Surfscan ein zuverlässiges und effizientes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell, das hochgenaue Ergebnisse in Hochgeschwindigkeit liefert. Seine Eigenschaften wie „SmartScan“ -Technologie, grafische Benutzeroberfläche und Abtastrate machen es zu einem wertvollen Werkzeug zur Bestimmung der mikroskopischen Merkmale und Defekte von Substraten.