Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9216650 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9216650
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1994
Particle counter, 4"-8"
Non-patterned surface inspection system
OS: Windows
Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 Micron
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Haze resolution: 0.002 ppm
Accuracy: 1%
XY Co-ordinates
Lock down accessories
KLA / TENCOR Blower assembly
Manuals included
Power requirements: 208 V, 60 Hz, 17 A
1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für hochpräzise Messungen komplexer Oberflächen und Strukturen auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Das System integriert patentierte Metrologie-Architektur, fortschrittliche automatisierte Software und spezialisierte Optik, um beispiellose Fähigkeit zu bieten, Wafer-Strukturen zu messen. KLA 6200 Surfscan ist mit einer integrierten MultiGene™-Optikeinheit ausgestattet, die einen gesamten Wafer gleichzeitig und mit hoher Geschwindigkeit genau abtastet und somit für Anwendungen mit hohem Durchsatz geeignet ist. Die Maschine umfasst sowohl sichtbare als auch infrarote Lichtsensoren, so dass sie opake, transparente und nicht reflektierende Oberflächen genau messen kann. TENCOR 6200 Surfscan verwendet patentierte Encore™ Workflow-Automatisierungssoftware, um vollautomatisches Laden, Scannen und Analysieren von Substraten zu ermöglichen. Die benutzerfreundliche Software unterstützt auch Scripting, so dass Benutzer ihre eigenen Test- und Metrologie-Algorithmen entwickeln können. Die Software unterstützt auch die automatisierte Fehlererkennung und -erkennung, mit der Fehler anhand beliebiger, benutzerdefinierter Kriterien erkannt und klassifiziert werden können. PROMETRIX 6200 Surfscan verfügt auch über ein automatisiertes Wafer-Sortierwerkzeug, mit dem saubere und defekte Waferstrukturen mithilfe der integrierten Klassifikationsalgorithmen des Asset getrennt werden können. 6200 Surfscan kombiniert die höchstauflösende Bildgebung mit Hard- und Software, die für Präzision und Genauigkeit in der Messtechnik-Analyse entwickelt wurde. Das Modell ist mit einem integrierten 10K-Pixel-Auflösungssensor ausgestattet, der die Oberflächenrauhigkeit bis zu 1 Angstrom messen kann. Darüber hinaus ist das Gerät automatisiert, extrem schnell und unterstützt eine breite Palette von Probengrößen, so dass es extrem vielseitig. Neben seinen einzigartigen Fähigkeiten ist KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan auch äußerst zuverlässig und wirtschaftlich. Das System wurde so konzipiert, dass es wartungsfrei ist, sodass die Leistungsspezifikationen bei minimalen Ausfallzeiten konstant eingehalten oder übertroffen werden können. Darüber hinaus ist die Einheit wettbewerbsfähig und kostengünstig für Industrie- und Forschungsanwendungen. Insgesamt ist die Surfscan-Maschine KLA 6200 eine äußerst vielseitige und kostengünstige Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit umfassenden automatisierten Funktionen, hoher Präzisionsauflösung, effizienter Workflow-Automatisierung und wettbewerbsfähigem Preis ist TENCOR 6200 Surfscan das ideale Werkzeug für anspruchsvolle Industrie- und Forschungsumgebungen.
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