Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9230009 zu verkaufen

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ID: 9230009
Wafergröße: 4"-8"
Inspection system, 4"-8" Wafer surface contamination analyzer: Non-patterned wafers Color coded defect maps Laser type wavelength: 30 nm Particle sensitivity: 0.10 µm at 95% Measurement range: 0.09 - 9999 µm Haze sensitivity resolution: 0.05 ppm Repeatability: 0.5% at 1 Surface haze detection.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für Produktionsumgebungen entwickelt wurde, die eine Hochdurchsatz-Oberflächenanalyse von Halbleitern und Photovoltaik-Wafern erfordern. Das System verwendet berührungslose Ellipsometrie, um die optischen Eigenschaften einer Probe zu messen. Es kann verwendet werden, um die Ebenheit, Reflektivität, Spannungsprofil und Oberflächenrauhigkeit eines Halbleiterwafers mit ausgeklügelter Scanning-Software zu bestimmen. Die Einheit besteht aus drei Komponenten: dem Scankopf, der Messkammer und dem Rechenknoten. Der Scankopf enthält einen laserbasierten Sensor und ist auf der Messkammer montierbar, um schnelle und effiziente Probenmessungen zu ermöglichen. Die Messkammer ist eine abgedichtete und temperaturgesteuerte Umgebung, die mit der neuesten Automatisierungstechnologie ausgestattet werden kann, um schnellere Probenmessungen zu ermöglichen und gleichzeitig die manuelle Handhabung zu eliminieren. Der Rechnerknoten ist ein Computer, mit dem Ergebnisse gespeichert, Scans konfiguriert und der automatisierte Messvorgang geleitet wird. Die Maschine ist mit leistungsfähiger Analysesoftware für erweiterte Analyse und Berichtsgenerierung ausgestattet. Das Tool verfügt über automatisierte bidirektionale Nähte, um eine vollständige Analyseabdeckung über die Scanebene zu gewährleisten und eine Analyse auf großer Waferebene zu ermöglichen. KLA 6200 Surfscan Asset bietet eine Vielzahl von Messtechniken, einschließlich Wellenlängen-Scan-Ellipsometrie (WSE), kritische Dimension (CD), Wave Front Error (WFE), Oberflächencharakterisierung und zerstörungsfreie Prüfung (NDT). WSE misst die Änderung der optischen Eigenschaften einer Probe in Abhängigkeit von der Wellenlänge. CD wird zum Messen von Merkmalen an einer Probe verwendet, und WFE wird verwendet, um Änderungen in der Oberflächenebene zu verfolgen. Die Oberflächencharakterisierung dient zur Bestimmung der physikalischen Eigenschaften einer Probe, wie Porosität, Korngröße und Zusammensetzung. Schließlich wird NDT zur Erkennung von Defekten verwendet und zur Messung der elektrischen Eigenschaften einer Probe verwendet. Insgesamt ist TENCOR 6200 Surfscan ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das präzise Messfähigkeiten für Produktions- und Forschungsumgebungen bietet, die eine Oberflächenanalyse mit hohem Durchsatz erfordern. Das Gerät ist mit ausgereifter Scansoftware, automatisierter Probenabwicklung und automatisierter Analysesoftware für die fortschrittliche Analyse und Berichtsgenerierung ausgestattet. Das System bietet eine Reihe von Messtechniken und bietet optische Eigenschaftsmessung, Oberflächencharakterisierung und zerstörungsfreie Prüfmöglichkeiten.
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