Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9234557 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
Verkauft
ID: 9234557
Wafergröße: 4"-8"
Automatic surface inspection system, 4"-8" Sub-micron sensitivity defects: 0.10 Micron particles Color codes defect maps, histograms & other graphics Instantaneous magnified 3-D views of individual defects Surface haze detection Laser type wavelength: Argon 488 30 mW Particle sensitivity: 0.10 um at 95% Measurement range: 0.09-9999 um Haze sensitivity resolution: 0.05 ppm Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation Throughput: 150 wph on 6" wafer.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist ein Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung entwickelt, um Präzisionsergebnisse in einer Vielzahl von spezialisierten Wafer-Anwendungen zu liefern. Mit Hilfe einer konfokalen Lasertechnologie bietet KLA 6200 Surfscan extrem genaue Messungen der physikalischen Eigenschaften von integrierten Schaltkreisscheiben, insbesondere in Bezug auf Dicke, Rauheit und Textur. TENCOR 6200 Surfscan System ist mit zwei hochauflösenden Farbkameras ausgestattet, die es dem Bediener ermöglichen, die Waffeln im Test zu überwachen, und das Gerät kann auch Ungleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche erkennen und messen. 6200 Surfscan ist auch in der Lage, Oberflächeneigenschaften von Nicht-IC-Wafern (wie optische oder mikroelektromechanische Systeme) mit hoher Präzision zu messen. Die Maschine PROMETRIX 6200 Surfscan verfügt über einen zweistufigen, automatisierten Scankopf, der eine Probenvorbereitung mit hohem Durchsatz ermöglicht und eine genaue Messung bei allen Geschwindigkeitsstufen gewährleistet. Das Tool bietet Scanraten von bis zu 800 Proben pro Stunde und hat eine maximale Scangeschwindigkeit von 20 Zoll pro Sekunde. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, darunter automatisierte Kalibrierung, Latenzkompensation, Feldmapping und integrierte Konditionierung, was es zu einem äußerst zuverlässigen Asset macht. Die Software-Suite von KLA 6200 Surfscan umfasst erweiterte Datenanalysemethoden, einschließlich Flächen- und Linienprofilierung, Peak/Valley-Messung, Analyse der Kornamplitude/-orientierung und Funktionen für Autoscaling/Automatic-Plotting. Darüber hinaus bietet die Software eine Funktion zur Kontaminationsüberwachung, die in Echtzeit Rückmeldungen zu den auf der Waferoberfläche vorhandenen Verunreinigungen liefert. TENCOR 6200 Surfscan verfügt zudem über umfassende Diagnosefunktionen, die eine schnelle und effiziente Fehlerbehebung bei eventuell auftretenden Modellfehlern ermöglichen. Schließlich wird die Ausrüstung durch außergewöhnlichen Kundensupport unterstützt und bietet Anleitung und Beratung, um sicherzustellen, dass Kunden das Beste aus ihren Systemen herausholen. 6200 Surfscan ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges System, das höchste Genauigkeit bei der Inspektion von Proben für die Waferproduktion bietet. Es ist eine ideale Lösung für diejenigen, die eine umfassende und zuverlässige Lösung für die Messung der physikalischen Eigenschaften ihrer kritischen Anwendungen suchen.
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