Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9262110 zu verkaufen

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ID: 9262110
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht wird. Das System bietet erweiterte Funktionen und einen erhöhten Durchsatz für effiziente Wafertests und -analysen. Das Gerät besteht aus einer hochauflösenden Profiler-Bildgebungsmaschine und einer Contour Scan 1250 Koordinatenmessstation. Das Profilerwerkzeug ist in der Lage, Funktionen auf einseitigen und doppelseitigen Wafern mit Auflösungen von bis zu 0,25 Mikrometern zu messen. Der Konturscan 1250 kann bis zu einer Auflösung von bis zu 1 Mikron messen. Das Asset verfügt über erweiterte Oberflächenfunktionserkennung und Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung. Es ist in der Lage, Oberflächenmerkmale schneller und mit höherer Genauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Wafer-Inspektionstechnologien zu messen. Das Modell bietet auch verbesserte Waferdurchsätze und Inspektionsgeschwindigkeiten durch den Einsatz mehrerer Sensoren und automatisierte Datenanalyse. Es hat auch die Fähigkeit, Merkmalstrends zu interpretieren, um festzustellen, wo im Herstellungsprozess Anomalien auftreten können. Das Gerät verfügt über verschiedene benutzerdefinierte Analysetools wie Varian Well Connected für die gleichzeitige Analyse von Toren, aktiven Bereichen und Brunnengrenzen auf demselben Wafer. Das System ist auch mit Wafer-Mapping-Funktionen ausgestattet, um prozessbedingte Änderungen an Gerätestrukturen sowie eine automatisierte Fehlererkennung zu verfolgen. Das Gerät unterstützt sowohl den manuellen als auch den automatisierten Betrieb für maximale Flexibilität. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer verschiedene analytische Aufgaben schnell und einfach ausführen können. Darüber hinaus unterstützt die Maschine die Integration mit anderen Prozessleitsystemen, um einen kontinuierlichen Betrieb zu gewährleisten. KLA 6200 Surfscan ist ein ideales Werkzeug für Halbleiterhersteller, die genaue Wafertests und -analysen benötigen, ohne die Geschwindigkeit oder den Durchsatz zu beeinträchtigen. Mit seiner fortschrittlichen Funktionserkennung, Hochgeschwindigkeitsdatenerfassung, Prozessüberwachung und automatisierten Fehlererkennung bietet das Tool eine kostengünstige Lösung, die Erträge verbessert und die Produktivität erhöht.
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