Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Multisensorausrüstung, die für schnelle und genaue Inline-Wafertests und Messtechnik entwickelt wurde. Es bietet eine Kombination aus Optik, Lasern, Sensoren und kundenspezifischer Software zur fortschrittlichen Oberflächenanalyse, Fehlererkennung und dimensionalen Messtechnik auf einer Vielzahl von Substraten. Die 6420 verfügt über eine einzigartige optische Konfiguration, die auf einem ausgeklügelten modifizierten Miller-Dreistrahl-Scan-Layout basiert. Dieses Scan-Muster ermöglicht eine schnelle, hochauflösende Bildgebung mit variablem Fokus, ohne die Leistung zu beeinträchtigen. Darüber hinaus ermöglicht das System die Messung sehr feiner Merkmale sowie größerer und unregelmäßig geformter Merkmale. Die 6420 verfügt zudem über eine laseroptische Einheit als Teil ihres Messtechnik-Pakets. Dazu gehört ein Fourier-Transformationsprofilometer, das eine extrem genaue Oberflächenmapping ermöglicht. Dies ist insbesondere bei Anwendungen hilfreich, bei denen eine Oberflächentopographie-Charakterisierung erforderlich ist. Die 6420 ist mit einer integrierten Run-to-Run-Steuerungsfunktion ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, den Musterstatus in Echtzeit zu überwachen und die Wiederholbarkeit sicherzustellen. Darüber hinaus stehen verschiedene Hardware- und Softwareoptionen zur Verfügung, die eine Anpassung von Leistung, Genauigkeit und Testgeschwindigkeiten ermöglichen. Schließlich umfasst das von der UCK bereitgestellte Softwarepaket eine Reihe automatisierter Analysetools wie Fehlererkennung (sowohl bei Schadstoff- als auch bei Strukturfehlern), Musteranpassung, Messtechnik-Tools und Phasenkontrast-Bildgebung. Alle diese Tools sowie die Option zur individuellen Programmierung ermöglichen maximale Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit in einer Vielzahl von Anwendungen für Wafertests und Messtechnik. Insgesamt ist KLA 6420 Surfscan eine leistungsstarke und vielseitige Maschine zum schnellen, genauen und zuverlässigen Testen und Messen einer Vielzahl von Substraten. Mit seiner Kombination aus fortschrittlicher Optik, laseroptischen Systemen und leistungsfähiger Software ist es eine ausgezeichnete Wahl für Inline-Tests und messtechnische Anforderungen.
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