Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293625758 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Erkennung von Oberflächendefekten auf Halbleiterscheiben. Die patentierte Micro Scan-Technologie erhöht die Empfindlichkeit und Wiederholbarkeit der Fehlererkennung gegenüber anderen bestehenden Fehlererkennungssystemen. Der Surfscan wurde entwickelt, um echte mikroskopische Defekte auf fortgeschrittenen optischen, lithographischen und FEOL-Schichten schnell zu erkennen. Der Surfscan 6420 ist mit einem digitalen Vision-System ausgestattet, das mit einer High-Fidelity-Kamera verbunden ist, die mit einer präzisen, wiederholbaren motorisierten Waferbühne angetrieben wird. Der Surfscan 6420 ist in der Lage, bis zu zwei Waferdurchmesser in einem Durchgang bei einer Auflösung von 500 nm zu messen. Das Gerät umfasst sowohl die lineare als auch die Ringprüfung, um eine 100% ige Abdeckung des gesamten Wafers zu gewährleisten. Der Surfscan 6420 nutzt eine echte vierdimensionale Kombination aus Scanning Electron Microscopy (SEM) und Broad Field Defect Review (BFDR) Bildgebung, um Probenbilder zu sammeln und zu analysieren. Auf diese Weise kann der Surfscan 6420 bei Auflösungen von bis zu 500 nm eine Vielzahl von Fehlertypen erkennen und quantifizieren. Der Surfscan 6420 bietet dem Anwender verschiedene Algorithmen, um den Prozess der Fehlerdiagnose und -klassifizierung zu vereinfachen. Diese Algorithmen ermöglichen es der Maschine, mutmaßliche Fehler zu identifizieren und „Klassifizierern“ anhand benutzerdefinierter Kriterien zuzuweisen. Hochgenaue und zuverlässige Fehlerortung kann durch automatische Zentrierung und Ausrichtungsmerkmale erreicht werden. Die Analyse von Fehlerbildern wird durch die Nutzung der Suite von Surfscan 6420 mit benutzerkonfigurierbaren zusammenfassenden Statistiken und Trendberichten optimiert. Diese Funktionen ermöglichen es dem Benutzer, die verschiedenen Fehlertypen, die auf dem Wafer vorhanden sein können, schnell zu identifizieren und zu dokumentieren. Zusätzlich, die Softwareschiffe des Werkzeugs mit einer Bibliothek der Standarddefektklassifikationsfachsprache, um Defektberichterstattung zu vereinfachen und zu rationalisieren. Der Surfscan 6420 wird mit einem umfassenden Softwarepaket geliefert, das eine automatische Qualitätskontrolle, Nachbearbeitung und Fehlerqualifizierung bietet. Die Software bietet auch integriertes GIS-Tracking und umfassende Waferdatenanalysefunktionen. Darüber hinaus ist es auf zuverlässige, wiederholbare Leistung mit minimalen Schulungs- und Wartungskosten ausgelegt. Alles in allem ist KLA 6420 Surfscan ein fortschrittliches Gerät für Wafertests und Messtechnik, das entwickelt wurde, um Oberflächendefekte auf Halbleiterscheiben genau und zuverlässig zu erkennen. Mit seiner High-Fidelity-Bildgebung, konfigurierbaren Algorithmen und umfassender Software ist der Surfscan 6420 eine ideale Lösung für höchste Produktionsqualität.