Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9057232 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9057232
Non-patterned wafer particle measurement system, 4"-8"
Model #: 289108
Currently configured for 8"
Cassette interface:
(1) Open cassette
SMIF Ready
Operating system: Win98
Application SW verision: 4.2
Standard puck
Blower unit
Blower power cable
Main unit power cable
Particle sensitivity: 0.10 um
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Count accuracy: +/- 1%
No SMIF Load-port
208 V, 60 Hz, Single phase, 17 A
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät, das entwickelt wurde, um fortschrittliche Tests und Analysen auf Siliziumscheiben während des Halbleiterherstellungsprozesses durchzuführen. Dieses System bietet überlegene Genauigkeit, Präzision und Durchsatz und ist somit eine ideale Wahl für Wafer-Messtechnik-Anforderungen. Es ist mit einer vielseitigen und zuverlässigen optischen Plattform ausgestattet und bietet erweiterte automatisierte Wafer-Mapping, Fehlerbildgebung und Fehlerüberprüfungsfunktionen. KLA 6420 Surfscan nutzt eine Metrologie-Software auf Windowsbasis, die eine beispiellose Steuerungs- und Verarbeitungsleistung bietet. Es ermöglicht Benutzern, Tests und Designs mit schneller und effizienter Datenverarbeitung und Berichterstattung anzupassen. Das Gerät verfügt über große Messtechnik-Modi mit einem 32-Punkte-Raster-Abtastarray, das eine verbesserte Abtastabdeckung auf Substratmatten jeder Größe und Dicke liefert. Es enthält eine patentierte SmoothScan™-Plattform mit fortschrittlicher Optikreduktion und adaptiver Geschwindigkeitsregelung, die eine ungleichmäßige Probendrehung reduziert und genauere Messungen liefert. TENCOR 6420 Surfscan ist auch mit speziellen Staubschutzfiltern ausgestattet, die Staubpartikel beseitigen und die mechanische Beanspruchung von Wafern reduzieren. Es ist in der Lage, schnelle und genaue messtechnische Messungen zu erzielen, einschließlich Waferdicke, Zonendicke, Gesamtoberfläche, Firstmontagespalt und Sterben-zu-sterben-Kartierung. Es verfügt auch über eine leistungsstarke automatisierte Fehlererkennung und Analysefähigkeit, so dass Wafer-Inspektionen schnell und effizient abgeschlossen werden können. 6420 Surfscan ist eine leistungsstarke und hochgenaue Maschine mit mehreren Bildgebungsmodi, einschließlich heller Feld- und Dunkelfeldbildgebung. Es ist auch mit einem integrierten Bildanalyse-Tool (IAS) ausgestattet, das automatisierte Tests und Analysen während des Wafer-Herstellungsprozesses ermöglicht. IAS-Software ermöglicht eine schnelle Problemlösung und reduziert die Test- und Analysezeit. Das Asset ist vollständig in andere Messtechnik-Systeme integriert, so dass es einfach ist, Daten zu übertragen und zu teilen. PROMETRIX 6420 Surfscan ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Modell, das den anspruchsvollen Anforderungen der Produktionslinien für Wafermesstechnik und -prüfung gerecht wird. Es bietet unschlagbare Genauigkeit, Präzision, Durchsatz und Speicherkapazität und ist somit ein wesentliches Werkzeug für jeden Halbleiterherstellungsprozess.
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